显微技术是人们认识材料微观结构的重要途径,其发展历程是从光学显微镜——电子显微镜——扫描探针技术
一般的光学显微镜的分辨率250nm,扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子
扫描探针技术(STM横向0
2nm,纵向0
01nm),可以直接观察分子、原子
第一代为光学显微镜1830年代后期为M
Schleide和T
Schmann所发明;它使人类“看”到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体,对社会的发展起了巨大的促进作用,至今仍是主要的显微工具
一般的光学显微镜的分辨率250nm第二代为电子显微镜20世纪三十年代早期卢斯卡(E
Ruska)发明了电子显微镜,使人类能”看”到病毒等亚微米的物体,它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具
扫描电子显微镜(横向分辨率3-5nm),不能用来直接观察分子和原子
第三代为扫描探针显微镜也可简称为纳米显微镜
1981年葛宾尼和罗雷尔发明了扫描隧道显微镜(STM),使人类实现了观察单个原子的原望;1985年比尼格应奎特(C
Quate)发明了可适用于非导电样品的原子力显微镜(AFM),也具有原子分辨率,与扫描隧道显微镜一起构建了扫描探针显微镜(SPM)系列
扫描探针技术(STM横向0
2nm,纵向0
01nm),可以直接观察分子、原子
STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质,在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景,被国际科学界公认为20世纪80年代世界十大科技成就之一.为表彰STM的发明者们对科学研究所作出的杰出贡献,1986年宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖金.三代显微镜的观察范围及典型物体扫描探针显微镜的特点分辨率分辨率工作环境工作环境样品环境样品环境温度温度对样品对样品破坏程度破坏程度检测深