第卷第期光子学报Vol
2013年月ACTAPHOTONICASINICAJanuary2013基金项目:国家自然科学基金(No
61106043)资助第一作者:安涛(1964-),男,副教授,主要研究方向为新型功率半导体器件、新型半导体OLED平板显示技术与照明
Email:antao@xaut
cn通讯作者:袁进(1989-),男,硕士研究生,主要研究方向为新型半导体OLED平板显示技术与照明
Email:dhyyj1314@163
com收稿日期:2013-07-02;录用日期:2013-09-03BePP2沉积速率以及厚度对蓝光OLED性能的影响安涛,袁进,林涛,高勇(西安理工大学,西安710048)摘要:采用真空热蒸镀的方法,在高准确度膜厚控制仪的监控下,制备结构为ITO/2T-NATA(25nm)/NPB(30nm)/BePP2(Xnm)/Alq3(30nm)/LiF(0
6nm)/Al(80nm)的蓝光器件,并对有机发光层BePP2薄膜的沉积速率以及厚度对有机发光二极管的亮度、发光效率的影响进行了分析和实验研究
结果表明:当束源炉孔径为Φ1
5mm,束源炉温度在120℃~150℃区域,BePP2的蒸镀速率比较平滑,斜率变化小,易于膜厚精准控制,且薄膜较致密满足器件需要;BePP2发光层沉积速率为0
02nm/s(蒸发温度为135℃)为最佳沉积速率,且厚度为35nm时,可获得启亮电压为5
34V、发光亮度为9100cd/m2、发光效率达到4
4cd/A的较理想蓝光器件
关键词:有机半导体;蓝光有机电致发光二极管;真空蒸镀;BePP2;沉积速率;厚度;发光亮度;空穴注入层;2T-NATA;器件性能中图分类号:TN383文献标识码:A文章编号:ImpactofBePP2DepositionRateandThicknessonthePerformance