第卷第期光子学报Vol.No.2013年月ACTAPHOTONICASINICAJanuary2013基金项目：国家自然科学基金(No.61106043)资助第一作者：安涛（1964-），男，副教授，主要研究方向为新型功率半导体器件、新型半导体OLED平板显示技术与照明.Email:antao@xaut.edu.cn通讯作者：袁进（1989-），男，硕士研究生，主要研究方向为新型半导体OLED平板显示技术与照明.Email:dhyyj1314@163.com收稿日期：2013-07-02；录用日期：2013-09-03BePP2沉积速率以及厚度对蓝光OLED性能的影响安涛，袁进，林涛，高勇（西安理工大学，西安710048）摘要：采用真空热蒸镀的方法，在高准确度膜厚控制仪的监控下，制备结构为ITO/2T-NATA(25nm)/NPB(30nm)/BePP2(Xnm)/Alq3(30nm)/LiF(0.6nm)/Al(80nm)的蓝光器件，并对有机发光层BePP2薄膜的沉积速率以及厚度对有机发光二极管的亮度、发光效率的影响进行了分析和实验研究.结果表明：当束源炉孔径为Φ1.5mm，束源炉温度在120℃～150℃区域，BePP2的蒸镀速率比较平滑，斜率变化小，易于膜厚精准控制，且薄膜较致密满足器件需要；BePP2发光层沉积速率为0.02nm/s（蒸发温度为135℃）为最佳沉积速率，且厚度为35nm时，可获得启亮电压为5.34V、发光亮度为9100cd/m2、发光效率达到4.4cd/A的较理想蓝光器件.关键词：有机半导体；蓝光有机电致发光二极管；真空蒸镀；BePP2；沉积速率；厚度；发光亮度；空穴注入层；2T-NATA；器件性能中图分类号：TN383文献标识码：A文章编号：ImpactofBePP2DepositionRateandThicknessonthePerformanceofBlueOrganicLight-emittingDiodeANTao,YUANJin,LINTao,GAOYong(Xi’anUniversityofTechnology,Xi’an710048,China)Abstract:Byusingthevacuumthermalevaporationmethods,underthemonitoringofhighlyaccuratefilmthicknesscontroller,theITO/2T-NATA(25nm)/NPB(30nm)/BePP2(Xnm)/Alq3(30nm)/LiF(0.6nm)/Al(80nm)blueorganiclight-emittingdiodestructurewasprepared.EffectsoftheorganiclightemittinglayerofBePP2depositionrateandthicknessontheluminanceandluminousefficiencyoftheorganiclightemittingdiodewereanalyzedandstudiedbytheexperiment.Theresultsshowthat:whenbeamsourcefurnaceapertureisΦ1.5mm,beamsourcefurnacetemperatureis120℃~150℃,BePP2evaporationrateissmooth,theslopechangeissmallandeasytofilmthicknessprecisioncontrol,andthefilmaredensertomeettheneedsofthedevice;BePP2light-emittinglayerdepositionrateof0.02nm/s(evaporationtemperatureis135℃)isthebestdepositionrate,whenthethicknessofBePP2is35nm,andturn-onvoltageof5.34V,luminescencebrightnessof9100cd/m2,luminousefficiencyof4.4cd/Aoftheidealbluedevicecanbeobtained.Keywords:Organicsemiconductor;Blueorganiclight-emittingdiode;Vacuumdeposition;BePP2;Depositionrate;Thickness;Brightness;Holeinjectionlayer;2T-NATA;Deviceperformance0引言有机电致发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)作为一种新型电致发光器件，以其优越的性能在显示器行业脱颖而出.这种器件结构简单、成本低、易于大面积生产，抗震性能好；主动发光，视角范围大，响应速度快；发光效率高，亮度大，网络出版时间：2013-09-2914:25网络出版地址：http://www.cnki.net/kcms/detail/61.1235.O4.20130929.1425.024.html2光子学报卷可实现全色显示和柔性显示[1-4]，因此在显示领域具有很大的发展潜力，有望成为继液晶之后新一代显示器的主流.目前用于OLED的红、绿光材料已达到实用化要求，而蓝光材料则相对滞后，且蓝光通过色转换可获得红光和绿光，因此研究高性能的蓝光材料具有重要意义.对于全色显示来说，蓝光材料的发光效率要达到4～5cd/A,CIE色坐标需满足(0.14～0.16，0.15)[5,6].典型的荧光蓝光有机发光材料包括9,10-二芳基取代的蒽衍生物、苝衍生物、苯二乙烯芳香衍生物、苝衍生物、芴衍生物.近年来发展的单分散六臂芴基咔唑衍生物表现出非凡的蓝光发射，固态薄膜的荧光量子效率为38～75%.基于磷光的蓝色EL也时有报道，最新研究表明，使用带有强吸电...
