1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示
真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思
3、真空度单位通常用托(Torr)为单位,近年国际上取用帕(Pa)作为单位
1托=1/760大气压=1毫米汞柱4、托与帕的转换1托=133
322帕或1帕=7
5x10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子,相继两次碰撞所飞越的平均距离,用符号“九”表示
6、流量单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕•升/秒(Pa・L/s)或托•升/秒(TomL/s)
7、流导表示真空管道通过气体的能力
单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差
符号记作“U”
U=Q/(P2-P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P”表示
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)
10、极限真空真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空
通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为极限真空值
11、抽气速率在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速
即Sp=Q/(P—P0)真空常用数据及单位换算1、真空区域划分真空区域压强范围托(Torr)帕(Pa)低真空760〜10101325~1333中真空10〜10-31333〜1
33x10-1咼真空10-3〜10-81
33x10-1〜10-6超咼真空10-8〜10-1210-6~10-10极咼真空