第43卷第5期2014年10月表面技术SURFACETECHNOLOGY收稿日期:2014-04-17;修订日期:2014-06-16Received:2014-04-17;Revised:2014-06-16基金项目:江苏省高校自然科学基金(12KJD480002);江苏省“青蓝工程”资助项目Fund:SupportedbytheNaturalScienceFundforCollegesandUniversitiesinJiangsuProvince(12KJD480002)andJiangsuProvinceQinglanProject.作者简介:种法力(1977—),男,山东枣庄人,副教授,主要从事能源电池材料、等离子体表面材料研究
Biography:CHONGFa-li(1977—),Male,fromZaozhuang,Shandong,Vice-professor,Researchfocus:energybattery,plasmaandthesurfacematerials.晶体硅表面制绒参数优化分析种法力(徐州工程学院,江苏徐州221008)摘要:目的研究酸(HF和HNO3)、碱(NaOH)腐蚀液对晶体硅制绒的影响
方法通过改变NaOH浓度、异丙醇浓度、腐蚀时间研究单晶硅片腐蚀,通过改变酸溶液浓度比研究多晶硅片腐蚀,通过分析微观形貌及表面反射率等考察制备晶体硅制绒工艺参数
结果单晶硅最佳的腐蚀液配比为:NaOH质量浓度15g/L,热碱温度80℃,异丙醇体积分数15%~20%,腐蚀时间10min
在最优化参数下,晶体硅绒表面金字塔大小均匀,高度约为5μm,相邻金字塔间彼此相连,硅表面反射率降低至15%
在V(HF)∶V(HNO3)∶V(CH3COOH)=10∶1