特种气体系统工程技术规范2011-04-0708:31:54|分类：默认分类|标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1总则1.0.1为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。1.0.3本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。1.0.4特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。2术语2.0.1特种气体specialilygas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。2.0.2特种气体系统specialitygassystem特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3特种气体间specialitygasroom是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。2.0.4硅烷站silanestation是指放置硅烷储存设备(气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐)、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。2.0.5明火地点openflamesite室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。2.0.6散发火花地点sparkingsite散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。2.0.7空瓶emptycylinder留有残余压力的气体钢瓶。2.0.8实瓶fullcylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。2.0.9气瓶集装格thebundleofgascylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。2.0.10气瓶柜gascabinet(GC)特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。2.0.11气瓶架gasrack(GR)特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。2.0.12阀门箱valvemanifoldbox(VMB)特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2CI2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。2.0.13阀门盘vaIvemanifoIdpaneI(VMP)文案大全特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、实用标准文档压力表、过滤器等组件，VMP各支管可根据需要设置调压阀。实用标准文档文案大全特种气体设备与系统中排出的本质气体。2.0.34数据采集与监视控制系统supervisorycontrolanddataacquisition（SCADA）是以计算机为基础的生产过程控制与调度自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。2.0.35工厂设备管理控制系统facilitymanagementcontrolsystem（FMCS）用于管理工厂动力设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。2.0.36大宗硅烷系统bulksilanesystem是指容器水容积超过250L的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车（T/T）、ISO标准储罐，以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。2.0.37气体面板gaspanel集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件并安装在气瓶柜内的专用设施。2.0.38开敞式建筑openarea立柱和墙面遮挡部分小于周长的25%的建筑。2.0.39内向检漏inboardheleaktest又称喷氦法测试.采用内部抽真空，外部喷氦气的方法，...
