设备全过程管理制度文件编号QEO/BYHN/ZD-10-09-2016(A/0)文件类别支持性文件页码1/21编制部门硅片厂设备部分发范围:硅片厂各工段、分部编制/日期审核/日期批准/日期生效日期20年月日目录1、范围2、原材料及产品质量指标3、工作原理4、操作步骤5、控制要点6、安全技术操作规程注意事项7、常见故障处理措施8、图组织机构和职责范围文件编号QEO/NBYC/ZY-SB-06-2011(A/0)文件类别作业文件页码1/21编制部门设备部分发范围:总经理部、公司各部门负责人编制/日期审核/日期批准/日期生效日期20年月日目录1、范围1.目的为不断改善设备技术状况,提高设备可靠度,作好设备的全过程管理,促进生产发展、提高经济效益,特制订设备全过程管理制度。2.定义设备全过程管理制度是指对设备从规划、选型、购置、验收、入帐、安装、使用、维护、更新改造、转移、出售、闲置、报废的全过程进行的综合管理。3.适用范围本制度适用于硅片厂全部生产设备的规划、选型、购置、验收、入帐、安装、使用、维护、更新改造、转移、出售、闲置、报废等设备管理。文件名设备全过程管理制度文件编号QEO/BYHN/ZD-09-09-2016(A/0)页码2/212、原材料及产品质量指标2.1、原料质量指标名称品种规格消耗量吨/年备注氯气氯%(体积)≥99.8水和其它含氧杂质%(质量)≤0.015.三氯化氮%(质量)≤0.002不挥发的残余物%(质量)≤0.0159573符合GB-T-5138-1966标准的优质品氢气1氢%(质量)≥99.9972氧%(质量)≤0.0033露点-60℃286(原始氢4%,循环氢282)2.2、产品质量指标2.2.1、合成HCL质量指标(体积)HCL含量:95~97%H2含量:3~5%无游离氯(含量小于20ppm)水分含量≤200ppm2.2.2、CDI回收HCL质量指标(体积)HCL含量:≥95%H2含量:≤5%氯硅烷含量:≤0.5%2.3、技术经济指标产能(按70%):合成HCL-9859T/a消耗CL2:9573T/a消耗H2:286T/a(其中补充氢4T;循环氢282T)4.管理职责及要求4.1设备的规划为适应生产发展和工艺技术进步的需要,各单位应根据具体情况制定设备发展规划。4.1.1编制设备规划的依据:应根据企业生产经营发展的要求、设备的技术状况、国家政策(节能、节材)的要求、国家劳动安全和环境保护法规的要求、国内外新型设备发展和科技信息、可筹集用于设备投资的资金来进行设备规划。4.1.2设备规划的编制程序:设备规划就是按上述依据,通过初步的技术经济分析来确定设备改造、更新和新增规划的项目及进度计划。设备规划的编制,应在公司领导文件名设备全过程管理制度文件编号QEO/BYHN/ZD-09-09-2016(A/0)页码3/212、原材料及产品质量指标2.1、原料质量指标名称品种规格消耗量吨/年备注氯气氯%(体积)≥99.8水和其它含氧杂质%(质量)≤0.015.三氯化氮%(质量)≤0.002不挥发的残余物%(质量)≤0.0159573符合GB-T-5138-1966标准的优质品氢气1氢%(质量)≥99.9972氧%(质量)≤0.0033露点-60℃286(原始氢4%,循环氢282)2.2、产品质量指标2.2.1、合成HCL质量指标(体积)HCL含量:95~97%H2含量:3~5%无游离氯(含量小于20ppm)水分含量≤200ppm2.2.2、CDI回收HCL质量指标(体积)HCL含量:≥95%H2含量:≤5%氯硅烷含量:≤0.5%2.3、技术经济指标产能(按70%):合成HCL-9859T/a消耗CL2:9573T/a消耗H2:286T/a(其中补充氢4T;循环氢282T)的领导下,由设备主管部门负责,自上而下的进行编制。编制程序如下:首先,由设备使用部门和设备主管部门根据企业经营发展规划的要求,提出设备规划的项目申请表。对设备规划项目必须进行初步的经济分析,从几个可行方案中选出最佳方案。其次,由规划部门汇总各部门的项目申请表。进行综合平衡,提出企业经济效益和社会效益最佳的设备规划草案,送交有关部门会审。最后,由规划部门根据会审意见修改规划草案,编制设备规划,经分管领导或总工程师审查后报总经理批准。4.2设备设计、选型文件名设备全过程管理制度文件编号QEO/BYHN/ZD-09-09-2016(A/0)页码4/212、原材料及产品质量指标2.1、原料质量指标名称品种规格消耗量吨/年备注氯气氯%(体积)≥99.8水和其它含氧杂质%(质量)≤0.015.三氯化氮%(质量)≤0.002不挥发的残余物%(质量)≤0.0159573符...