设备全过程管理制度文件编号QEO/BYHN/ZD-10-09-2016(A/0)文件类别支持性文件页码1/21编制部门硅片厂设备部分发范围:硅片厂各工段、分部编制/日期审核/日期批准/日期生效日期20年月日目录1、范围2、原材料及产品质量指标3、工作原理4、操作步骤5、控制要点6、安全技术操作规程注意事项7、常见故障处理措施8、图组织机构和职责范围文件编号QEO/NBYC/ZY-SB-06-2011(A/0)文件类别作业文件页码1/21编制部门设备部分发范围:总经理部、公司各部门负责人编制/日期审核/日期批准/日期生效日期20年月日目录1、范围1
目的为不断改善设备技术状况,提高设备可靠度,作好设备的全过程管理,促进生产发展、提高经济效益,特制订设备全过程管理制度
定义设备全过程管理制度是指对设备从规划、选型、购置、验收、入帐、安装、使用、维护、更新改造、转移、出售、闲置、报废的全过程进行的综合管理
适用范围本制度适用于硅片厂全部生产设备的规划、选型、购置、验收、入帐、安装、使用、维护、更新改造、转移、出售、闲置、报废等设备管理
文件名设备全过程管理制度文件编号QEO/BYHN/ZD-09-09-2016(A/0)页码2/212、原材料及产品质量指标2
1、原料质量指标名称品种规格消耗量吨/年备注氯气氯%(体积)≥99
8水和其它含氧杂质%(质量)≤0
三氯化氮%(质量)≤0
002不挥发的残余物%(质量)≤0
0159573符合GB-T-5138-1966标准的优质品氢气1氢%(质量)≥99
9972氧%(质量)≤0
0033露点-60℃286(原始氢4%,循环氢282)2
2、产品质量指标2
1、合成HCL质量指标(体积)HCL含量:95~97%H2含量:3~5%无游离氯(含量小于20ppm)水分含量≤200ppm2
2、CDI回收HCL质量指标