特殊气体供应系统VIP免费

特殊气体介绍特殊气体介绍特殊气体介绍特殊气体介绍2www.smics.comSMICConfidentialPressureunit:（压力单位）psig—表压，psia—绝对压力psia=psig+14.71bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm1atm=14.7psiFlowrateunit:（流量单位）sccm—毫升/分钟slpm—升/分钟1slpm=1000sccmS表示标准状态，即：1大气压，20℃。Weightunit:（重量单位）1Kg=2.2Lbs压力/重量单位3www.smics.comSMICConfidential•化学品及企业标识:化学品名称,企业名称,企业应急电话等•危险性概述:危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等•急救措施:皮肤接触，眼睛接触，吸入等•消防措施:危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等•泄露应急处理:应急处理和消除方法等•操作处置与储存:操作注意事项，储存注意事项等•接触控制/个体防护:最高容许浓度TLV，呼吸系统防护,眼睛防护，身体防护等•理化特性:PH值，沸点（℃），相对蒸气密度（空气=1）等•废弃处置：废弃物性质，废弃处置方法，废弃注意事项等•法规信息：国内化学品安全管理法规，国际法规等MSDS—MSDS—物质安全资料表物质安全资料表MSDS—MSDS—物质安全资料表物质安全资料表4www.smics.comSMICConfidentialSMIC的特殊气体分为四种:惰性气体毒性气体腐蚀性气体可燃性/毒性气体气体的定义气体的定义气体的定义气体的定义5www.smics.comSMICConfidential在SMIC总共有41种特殊气体:14种惰性气体CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%O2/He,20%O2/N2,30%O2/He,1.2%Kr/Ne,1.2%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,99.5%He/N26种毒性气体SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,0.7%AsH3/H2，B2H68种腐蚀性气体ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,0.9%F2/1.2%Kr/Ne,0.9%F2/3.5%Ar/Ne10种可燃性/毒性气体NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4Sub-Fab(腐蚀性)—C5F8,BCl3和WF6气体的定义气体的定义气体的定义气体的定义6www.smics.comSMICConfidential气体房包括CQC(连续质量控制)房,纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房.气体房布置图如附件:Fab1gasroomlayoutFab2gasroomlayout气体房布置图气体房布置图气体房布置图气体房布置图7www.smics.comSMICConfidential特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器—VMB/VMP,然后送到机台端给制程用特使气体供应系统包括3部分:气瓶柜—气体供应的源头,供应稳定压力的气体VMB/VMP—气体分配器,装有阀门来控制每一路气体管道机台—特殊气体的最终用户特使气体供应系统特使气体供应系统特使气体供应系统特使气体供应系统8www.smics.comSMICConfidentialG/C气瓶柜VMB/VMPTools机台1stFloorGasRoom1楼气体房2ndFloorSub-Fab2楼次洁净室3rdFloorCleanRoom3楼洁净室特殊气体供应流程图特殊气体供应流程图特殊气体供应流程图特殊气体供应流程图9www.smics.comSMICConfidential气体房气体房气体房气体房10www.smics.comSMICConfidentialFAB1FAB1特气气瓶柜特气气瓶柜FAB1FAB1特气气瓶柜特气气瓶柜11www.smics.comSMICConfidential气瓶柜流程图气瓶柜流程图(AirLiquid)(AirLiquid)气瓶柜流程图气瓶柜流程图(AirLiquid)(AirLiquid)12www.smics.comSMICConfidential所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换,在紧急情况下会自动停止供气.我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜.气瓶柜气瓶柜气瓶柜气瓶柜13www.smics.comSMICConfidential对高压的气体,我们使用压力传感器来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.当送气压力达到低设定时,气瓶也会从一侧切到另一侧.气瓶柜气瓶柜气瓶柜气瓶柜14www.smics.comSMICConfidential对液态的气体,我们用磅秤来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.当磅秤出现问题时,气瓶也会根据气瓶压力的状况从一侧切到另一侧.气瓶柜气瓶柜气瓶柜气瓶柜15www.smics.comSMICConfidentialFAB2BSGS大宗特殊气体供应包括:CO2,C2F6,N2O,NF3,SiH4Y气瓶供应包括:CO2,C2F6,N2O气瓶组供应包括:NF3,SiH4FAB2FAB2大宗特殊气体供应简介大宗特殊...