特种气体系统工程技术规范2011-04-0708:31:54|分类：默认分类|标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。2术语2.0.1 特种气体 specialilygas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。2.0.2 特种气体系统 specialitygassystem 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3 特种气体间 specialitygasroom 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。2.0.4 硅烷站 silanestation是指放置硅烷储存设备(气瓶、气瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐)、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。2.0.5 明火地点 openflamesite 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。2.0.6 散发火花地点 sparkingsite 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。2.0.7 空瓶 emptycylinder 留有残余压力的气体钢瓶。2.0.8 实瓶 fullcylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L 等各种容积。2.0.9 气瓶集装格 thebundleofgascylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为 9 个、12 个、16 个不等，单个气瓶的水容积通常为 40〜50L。2.0.10 气瓶柜 gascabinet(GC)特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。2.0.11 气瓶架 gasrack(GR)特种气体使用的开放式气瓶...
