Tescan3 型扫描电子显微镜操作规程1、开机：打开 N2阀门（1）开启并确认稳压电流：220v。（2）打开电镜主开关，由 OFF 位转向 ON 位，等待计算机完成启动。（3）如果进行元素分析，则先打开 QUANTAX 程序，后打开VEGA 程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。（4）系统自动进行硬件、软件自检。（5）单击 VEGA 中的[PUMP]，抽真空开始。（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于 10^-5torr 后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。2、更换样品（1）单击[HV]，切断高压。（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的 N2流量进入，不能使 N2流量太大，通常控制出口压力表在 0.1 刻度左右。（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空真空指示进度条变绿，真空度小于 10^-5torr 后，方可点击[HV]开启高压。（6）确认 BSE 探头已摇出。3、样品观察和物相、成分分析（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如 BI（束流）、工作距离 WD 和高压 HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做 adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA；20kv (100±5) μA ），进行观察。（2）按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图像清晰度至最佳。（3）根据放大倍数，选择合适的扫描速度采集图像并存储（4）如果对样品进行成分分析，应该将 WD 调至 15mm 左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为 3mm；当 BSE 探头摇进时，安全高度为 8mm）。（5）在扫描窗口中，双击选择所要测量的小区域，调整 BI，检测计数率。（6）能谱分析时，要根据样品性质，选择合适的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS 的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS 为适当值（一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于 25 万）。（7）EDS 的定性分析，不能完全依靠自动，要人为参与，检查结果的正确性。4、关机（1）在图像中，点击鼠标右键，选菜单中的最小化按钮，使SEM 回到最小放大倍数，BI 调到 10，样品台降至最低位置（手动调节），将 BSE 探头摇出，然后再切断高压按钮。稍开 N2阀，通入 N2.（2）关闭高压大约 3min 后，开始泄真空，取出样品，单击VEGA 中的[PUMP]，抽真空开始，关...
