基本薄膜材料黃中波摘抄總結名稱:釔( Y)三氧化二釔( Y2O3)使用電子槍蒸鍍,該材料性能隨膜厚而變化,在 500nm 時折射率在約為1
用作鋁保護膜其極受歡迎,特別相對於 8000nm— 12000nm 區域高入射角而言
可用作眼鏡保護膜,且 24 小時暴露在濕氣中
一般為顆粒狀和片狀
透 光 範圍( nm)N (500nm)蒸發溫度(℃)蒸發源應用蒸 汽 成份250-8000 1
79 2300-2500 電子槍防反膜名稱:二氧化鈰( CeO2 使用高密度的鎢舟皿(較早使用)蒸發,在200℃的基板上蒸著二氧化鈰,得到一個約為2
2 的折射率,在大約3000nm 有一吸收帶其折射率隨基板溫度的變化而發生顯著變化,在300℃基板上 500nm 區域 n =2
45,在波長短過 400nm 時有吸收,傳統方法蒸發缺乏緊密性,用氧離子助鍍可取得n =2
3(550nm)的低吸收性薄膜
一般為顆粒狀
還可用於增透膜和濾光片等
由于其热辐射较少 , 在 PMMA上镀膜可以优先该材料做为高折射率材料
透光範圍(nm)N (500nm)蒸 發 溫度(℃)蒸發源應用雜 氣 排放量400-16000 2
35 約 2000 電子槍增透膜多名稱:氧化鎂( MgO)必須使用電子槍蒸發因該材料昇華,堅硬耐久且有良好的紫外線(UV )穿透性
250nm n =1
86, 190nm n =2
06, 166nm 時K 值為 0
1,n =2
65,可能用作紫外線薄膜材料
Mg/MgF2 膜堆從 200nm— 400nm 區域透過性良好,但膜層被限制在60 層以內(由於膜應力)500nm 時環境溫度基板上得到n =1
70,而在300℃基板上得到n =1
由於大氣 CO2 的干擾, MgO 暴露表面形成一模糊的淺藍的散射表層,可成功使用傳統的MHL 折射率 3 層 AR 膜