半导体工厂排气系统简介―、Exhaust 功能：由于半导体厂生产流程中会用到各种各样的化学品（液态、气态），所以从机台排气端把有异味的酸、碱、有机物等有害的气（或水气混合物）通过负压抽至主系统中，然后处理至达标是 exhaust 系统的主要功能，同时也需要把配合真空系统将 chamber/gasbox 中可能泄露的有毒有害特气抽至主系统中，再经过净化或回收处理达到排放标准后排至大气。当涉及 exhausthookup 安装施工部分时，—般指从 POU 到 take-offpoint 部分，因工艺设备 movein 时间与主系统施工并非同时进行,故一般不涉及主系统的排气系统,设备定位后,开始hookup 部分施工。按排气性质差别，一般分为如下几类：GEX:generalexhaust（主要是机台的发热等产生的一般的空气，也包含bulkgas 的 gas-box 的排气）SCX:scrubberexhaust（主要指酸气及其水气混合气,也包含大多数的特气的 gas-box 的排气以及备品柜的排气）AEX:ammoniaexhaust（主要指氨水的排气,也包含 DEV 的排气）VEX:volatileorganiccompoundexhaust（主要指有机物异味排气）二、Exhaustsystem 参数：真空度:10~700Pa(150-200pa)使用值/流量:200-500Pa/10〜100,000LPM;尺寸：1/4“,3/8“,1/2“,2“〜12“;材质:PFA,PVDF,SUS304,SUS304+coating,Galvanized,帆布软管，铝薄软管，PVC。控制部件：damper 风压表;风速测量口；主要的连接形式：法兰式，丝接式(union,flare,NPT)Clamp,喉箍式(推拔)，承插式三、风管安装前注意事项：1. 风管安装的空间管理。2. 测试口的位置。3. 风压计的位置。4. 风速测试记录，计算风量。5. 调节风量平衡。6. 因为暂时无法进行现场的测试，所以必须特别注意管子连接时的密封材料的情况，以及实际密封的现状。Exhaustsystem 部分使用材料:EPDM:全称乙烯丙烯橡胶特点:具有良好的耐氧化性,耐臭氧性。不适合油和脂，有机酸。最高允许温度:恒温-90^~150 弋。允许压力：30—90KG/CM2PE:全称聚乙烯,英文名为 Polyethylene,密度为 0.95g/cm3。特点:质地软,耐腐蚀,无毒可用于饮用水输送,最高工作温度为 60°C,材料拉伸弹性较好，但受热变形较大。应用领域:地板采暖、压缩空气、二次污染物、牛奶、食品、器具制作、气体和水分配系统不推荐用于:氧化性酸类和卤素高温应用(>60C)VITON 氟橡胶(viton)FX 系列低压缩永久变形氟橡胶可满足长期在-40-250C,短期 300C 空气或-40-180C 石油基燃油、润滑油、双酯类合成滑油和硅酸酯类合成...
