1 数显技术和光栅传感器测量基本原理 我们用一句最简单的话讲,数显技术是通过栅式测量传感器做位置精密检测,也就是所谓的位置测量。 位置测量的意义: 位置测量主要是指长度和角度的测量,长度和角度是两个极为重要的物理量,长度是国际单位制的七个基本物理量之一( 国际单位制的七个基本物理量是:长度、质量、时间、电流、热力学温度、物质的量和发光强度 ) , 而角度通常是指平面角(弧度是角度的辅助单位)。 时间和空间是物质存在的基本形式,一切物体,大到天体、山川、城市,小到舰船、航天器,飞机、车辆,只有它存在 (静止或运动) 就有其位置 (方位、距离、经纬度),也就是位置测量的问题,在机械制造行业,长度和角度测量又是几何量测量的重要内容,越是高度工业化的国家那么用于测量任务的劳动力占的比例越大,其中大部分又是用来作几何变量的检测。 传统的观念认为,测量是在耗资的项目,只有加工过程才是创造价值,新的观念认为测量和加工一样都是增值的重要组成部分。特别要强调的是精密测量技术是精密加工发展的基础和先决条件之一,由于有了千分尺类量具,加工精度达到 0.01mm,有了测微比较仪,加工精度达到 1μm,有了圆度仪,加工精度达到 0.1μm,有了激光干涉仪,加工精度达到 0.01μm,国际上机床的加工水平已能稳定达到 1μm 左右,正在向着稳定精度为(加工水平)0.1~0.01μm 去发展,表面粗糙度的测量正在向着0.001μm 水平去发展,纳米技术正在形成新的技术热点。 如果说零件本身是硬件,测量的结果是获得软件——则为确定被测对象的量值而进行实验的过程量数据,过去是被动的,事后的尺寸检验让符合标准的产品出厂,今后的自动化生产将越来越表现为通过对设备、工具和环境的严密控制。预先决定产品的质量,主动的和在线的测量对产品质量保证具有决定性的重要意义。它使产品达到了更高的可靠性和精度,并具有互换性。机械加工和生产流程中的在线检测与控制技术把产品中的废品消灭在萌芽状态,以力保产品做到全部合格。而新观念的实现依赖于前述新型位置测量系统在内的各种测量系统的发展,按其本身的精度又依赖于长度、角度、圆度、几何精度等基础机械技术,其中长度、角度测量技术的关键是位置测量元件的精度及其读出精度。 1、位置检测与数显技术的发展: 一个世纪以来,计量光栅、感应同步器、磁栅、容栅、球栅、电阻栅等新型检测元件先后出现,几乎“光、电感、电磁、电容、电阻”等物理量...