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利用TFC 求膜层的N 与K 图文教程 1. 首先利用晶控控制沉积单层膜,厚度约4-7 个1/4 个中心波长,,这里假设在K9 基底上沉积单层ZnS 薄膜,晶控显示厚度390nm; 2. 然后利用分光光度计测量单层膜的反射率或透射率,测量范围最好宽些,这里测量400-1500nm,利用list 选项导出所测量数据,并保存为TXT 格式,这里命名ZnS.TXT,如图所示: 3. 打开TFC,选择modify-materials 4.继续选择Add Material,填写材料名称,选择合适的N 与K 的拟合公式,这里选择Cauchy与Sellmeier 公式,如果不合适,可试选别的公式,点OK 结束。 5.试填写A0 与B1 等各系数,以后熟练可凭经验填写,点击Fit Data 选项结束此步。 6.根据实际情况填写各选项,点击Set Constraints 结束此步。 7. 填写薄膜厚度与是否优化,点OK 离开。 8.回到上界面,点击 Compu ter 进行计算 9.下面为计算结果图,如果感觉结果可接受点击 Accept 选项,如不接受,点击 Reject 选项返回重选拟合公式,修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。 10.结果处理:感觉结果可接受点击Accept 选项,出现下面界面,点击conv ert 选项,填写材料名称,点击OK,即可保存所计算的N 与K 值,如下图所示。完工。 怎么在Plot窗口中显示两条以上的曲线? 一个截至率光片的设计实例 TFC 的设计步骤 1. File-New coating 2.填写中心波长,入射角,基底参数: 2 . 3.点击Analysis Parameters,填写计算波长范围: 3 . 4.Modify-Stack formula 填写膜系材料与公式: 5.点击Generate Lay ers,退出窗口。 6.计算: 7.显示结果: 8.完工。 附录: 如显示反射率曲线,可设置Set plot Parameters: TFC 优化过程图文说明 400nm-900nm T≥99% 1. 先进行基本设置 2. 3. 然后设置膜系,这里材料选择通用的TiO2 与Sio 2 4 . 5 . 3.设置优化目标,大家看明白,在那里设置。discrete 为离散的优化目标continu ou s 为连续的优化目标,一般选择离散目标优化 6 . 7 . 4 .选择优化方法 8 . 9 . 1 0 . 5 .优化计算 1 1 . 1 2 . 1 3 . 1 4 . 6 .显示结果 1 5 . 1 6 . 问: 我听说层数多的膜要用透射监控,层数少的膜要用反射监控,不知道为什么? 我该如何把计算出来的透射光控曲线运用到实际生产当中去?就是说如何让镀膜机按照这个曲线进行光控镀膜,我这边用北仪机(镀不了很多...

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