第一页，共第一页，共3434页。页。数字信号检测系统数字信号检测系统(xìtǒng)(xìtǒng)的组成的组成数字信号检测系统数字信号检测系统(xìtǒng)(xìtǒng)的组成的组成传传感感器器放放大大器器细细分分电电路路整整形形电电路路细细分分电电路路脉冲脉冲(màichōng)(màichōng)当量当量变变换换电电路路计计数数器器寄寄存存器器计计算算机机显示显示执行执行机机构构辨向电路辨向电路数字信号检测系统的组成数字信号检测系统的组成第二页，共第二页，共3434页。页。数字信号检测系统数字信号检测系统(xìtǒng)(xìtǒng)的组成的组成光栅光栅(guāngshān)(guāngshān)数字式传感器数字式传感器光栅光栅(guāngshān)(guāngshān)是由很多是由很多等节距等节距的的透光透光的的缝隙缝隙或或不透光的刻不透光的刻线均匀、相间排列线均匀、相间排列而成的光电器件。而成的光电器件。透透射射式式2020线线-150-150线线/mm/mmWWWW反反射射式式2525线线-50-50线线/mm/mmWW为光栅常数，也称光栅栅距。为光栅常数，也称光栅栅距。第三页，共第三页，共3434页。页。光栅光栅(guāngshān)(guāngshān)的分类的分类按用途按用途(yòngtú)(yòngtú)分分物理物理(wùlǐ)(wùlǐ)光栅光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分利用光的衍射现象，主要用于光谱分析、光波长测量。析、光波长测量。计量光栅计量光栅利用莫尔条纹现象，主要用于长度、利用莫尔条纹现象，主要用于长度、角度、速度、加速度、振动等物理量角度、速度、加速度、振动等物理量的测量。的测量。长光栅长光栅用于长度测量用于长度测量计量光栅计量光栅圆光栅圆光栅用于角度测量用于角度测量透射式光栅透射式光栅按光的走向按光的走向反射式光栅反射式光栅按栅线的形式按栅线的形式径向光栅径向光栅切向光栅切向光栅环形光栅环形光栅黑白光栅黑白光栅（幅值光栅）（幅值光栅）闪耀光栅闪耀光栅（相位光栅）（相位光栅）第四页，共第四页，共3434页。页。光栅传感器的结构和工作光栅传感器的结构和工作(gōngzuò)(gōngzuò)原理原理光栅光栅(guāngshān)(guāngshān)传感器的结构传感器的结构长光栅长光栅(guāngshān)(guāngshān)------直线位移直线位移圆光栅圆光栅------角位移角位移构成：构成：主光栅主光栅------标尺光栅，定光栅标尺光栅，定光栅指示光栅指示光栅------动光栅动光栅长度长度------测量范围；测量范围；刻线密度刻线密度------测量精度测量精度(10(10、、2525、、5050、、100100、、125125线线/mm)/mm)第五页，共第五页，共3434页。页。光栅传感器的结构和工作光栅传感器的结构和工作(gōngzuò)(gōngzuò)原理原理光栅光栅(guāngshān)(guāngshān)传感器的结构传感器的结构透镜透镜(tòujìng)(tòujìng)光源光源主光栅主光栅指示光栅指示光栅光电元件光电元件光栅副光栅副光光路路第六页，共第六页，共3434页。页。光栅传感器的结构光栅传感器的结构(jiégòu)(jiégòu)和工作原理和工作原理光栅光栅(guāngshān)(guāngshān)传感器的结构传感器的结构按运动按运动(yùndòng)(yùndòng)形式分：形式分：直线型直线型------主光栅为直尺形主光栅为直尺形→→直线移动直线移动旋转型旋转型------主光栅为圆盘形主光栅为圆盘形→→旋转运动旋转运动按光学形式分：按光学形式分：透射式透射式------光源与光电元件在两侧光源与光电元件在两侧→→透射光透射光反射式反射式------光源与光电元件同一侧光源与光电元件同一侧→→反射光反射光第七页，共第七页，共3434页。页。光栅传感器的结构光栅传感器的结构(jiégòu)(jiégòu)和工作原理和工作原理光栅光栅(guāngshān)(guāngshān)传感器的工作原理传感器的工作原理莫尔条纹莫尔条纹(tiáowén)(tiáowén)的形成的形成--++位移位移正弦波正弦波第八页，共第八页，共3434页。页。莫尔条纹莫尔条纹(tiáowén)(tiáowén)（（MoireMoire））主光栅主光栅(guāngshān)(guāngshān)指示指示(zhǐshì)(zhǐshì)光栅光栅均匀刻线均匀刻线夹角夹角移动移动明暗相间条纹明暗相间条纹莫尔条纹莫尔条纹条纹宽度：条...
