acceptancetesting(WAT:waferacceptancetesting)2
acceptor:受主,如 B,掺入 Si 中需要接受电子3
Acid:酸4
Activedevice:有源器件,如 MOSFET(非线性,可以对信号放大)5
Alignmark(key):对位标记6
Alloy:合金7
Aluminum:铝8
Ammonia:氨水9
Ammoniumfluoride:NH4F10
Ammoniumhydroxide:NH4OH11
Amorphoussilicon:a-Si,非晶硅(不是多晶硅)12
Analog:模拟的13
Angstrom:A(lE-10m)埃14
Anisotropic:各向异性(如戸 01
/£亿 1-1)15
AQL(AcceptanceQualityLevel):接受质量标准,在一定采样下,可以 95%置信度通过质量标准(不同于可靠性,可靠性要求一定时间后的失效率)16
ARC(Antireflectivecoating):抗反射层(用于 METAL 等层的光刻)17
Argon(Ar)氮18
Arsenic(As)
Arsenic1rioxide(As203)三氧化二碎20
Arsine(AsH3)21
Asher:去胶机22
Aspectration:形貌比(ETCH 中的深度、宽度比)23
Autodoping:自搀杂(外延时 SUB 的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层)24
Backend:后段(CONTACT 以后、PCM 测试前)25
Baseline:标准流程26
Benchmark:基准27
Bipolar:双极28
Boat:扩散用(石英)舟29
CD:(CriticalDimension)临界(关键)尺寸
在工艺上通常指条宽,例如