洁净室环境控制与检测方法

洁净室环境控制与检测方法一、 目的对尘粒及微生物污染进行控制并监测，使被控制的房间或区域达到生产所需的洁净度要求。二、 相关术语1. 洁净室（区）指对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。其建筑结构、装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入、产生和滞留的功能。其他相关参数如：温度、湿度、压力也有必要控制。2. 洁净室状态（1）空态（ as-built）洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，但是没有生产设备、原材料或人员的状态。（2）静态 (at-rest）静态 a 洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，生产工艺设备已安装、洁净室（区）内没有生产人员的状态。静态 b 洁净室（区）在生产操作全部结束，生产操作人员撤离现场并经过 20 min 自净后。（3）动态（ operational）洁净室（区）已处于正常生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。3. 气流形式（1）单向流（ unidirectional airflow）沿单一方向呈平行流线并且与气流方向垂直的断面上风速均匀的气流。与水平面垂直的叫垂直单向流（vertical unidirectional airflow ) ， 与 水 平 面 平 行 的 叫 水 平 单 向 流 （ horizontal unidirectional airflow ）。（2）非单向流（ non-unidirectional airflow）具有多个通路循环特性或气流方向不平行的气流。4. 洁净工作台（clean bench ）一种工作台或者与之类似的一个封闭围挡工作区。其特点是自身能够供给经过过滤的空气或气体， 按气流形式分为垂直单向流工作台、水平单向流工作台等。5. 洁净度 （cleanliness）洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径悬浮粒子的统计数量来区分的洁净程度。6. 悬浮粒子（ airborne particle）用于空气洁净度分级的空气悬浮粒子尺寸范围在0.1-1000 mm的固体和液体粒子。 对于悬浮粒子计数测量仪， 一个微粒球的面积或体积产生一个响应值，不同的响应值等价于不同的微粒直径。7. 菌落（ colony forming units）微生物培养后，由一个或几个微生物繁殖而形成的微生物集落，简称 CFU。8. 浮游菌 (airborne microbe) 按照标准（ GBT 16293-2010）提及的方法收集悬浮在空气中的活微生物粒子， 通过专门的培养基， 在适宜的生长条件下繁殖到可见的菌落数。9. 浮游菌浓度（ airborne microbe concentration）单位体积空气中含浮游菌菌...