关于Tempress设备设备的状况决定了制程的实际进行情况，作为核心制造工序扩散的主要承担者的Tempress设备的重要性不言而喻。对设备的的了解是异常排查、工艺调整和优化制程的基础，现将与工艺相关的Tempress设备的重要内容总结如下：一、Tempress设备调试流程：1.检查设备状况是否完整和正确：如气路连接是否正确，源瓶、恒温槽状态是否正常，排风是否正常等。2.运行Profile工艺：用以对应Paddle和Spike温度。3.饱和：可以运行30次P156程序，让石英管和舟对磷的吸收达到饱和状态。4.调节方块电阻：插一舟假片，其中选择7个位置放未扩散的硅片，运行饱和工艺，结束后测量方块电阻并进行温度调节，使方块电阻达到要求。5.效率跟踪：在方块电阻正常以后，试做三管并进行效率跟踪。6.交付使用：在试产片效率达到要求以后，即可交付生产使用了。二、基本构造：1、主要部件（mainparts）：1.LoadStation装载区2.Furnace炉子3.GasCabinet气体装置4.MainPowerCabinet主电源装置5.DPC(DigitalProcessController)数字程序控制器6.DTC(DigitalTemperatureController)数字温度控制器7.ETC(ExcessTemperatureController)扩展温度控制器8.TorchScreen触摸屏9.TSC-2电脑连接2、气路：在Tempress炉管尾部，有三条气管，分别为进气管，排气管，以及TC管。各气体，如大N2，POCL3以及O2在经过流量计，阀门等混合后通过进气管流入炉内；在排气管上另有一个氮气补足管，此管通过尾气管向管内补充氮气，起到控制炉内压力的作用；TC管内有温度传感器，用于测量炉内的温度，对扩散炉的Paddle控温方式的实现以及Profile过程有着关键作用。3、主要参数：各温区温度、炉内气体压力、各气体流量、POCL3的温度等。三、基本操作：2、主菜单：Tempress扩散炉控制界面的主菜单主要分为五部分，分别为：Systemcontrol:有关于系统设置的菜单Certifications:关于各主要参数的设定的菜单Recipe:程序的编写、修改和保存TubeControl:对扩散炉进行控制，如选择、运行和终止程序等。Monitor:系统状态监视和查看菜单3、主要操作：选择程序：TubeControl->SelectRecipe运行/停止程序：TubeControl->Start/StopRecipe终止程序：TubeControl->AbortProcessRecipe修改各温区温度：Certifications->TemperatureControllerCertification图形控制：TubeControl->GraphicProcessController修改程序：可以在住菜单Recipe中直接修改，也可以在TubeControl->VariableCommand中修改程序中设置好的重要的可修改参数。3、方块电阻均匀性（Uniformity）的计算：Uniformity[+-%]=(maximumvalue-minimunvalue)/2*averagevalue三、关于Tempress的输入输出：Tempress输入输出分为数字和模拟两种：Digitalinput/output和Analoginput/output。两者的区为一个为二进制数字信号，一个是模拟信号。数字信号只有一位，0和1两种状态，主要是控制一些阀门和开关的开闭；模拟信号是连续电压信号，主要是用来控制一些流量计等。输入（input）是从检测装置传送到DPC的信号，是设备状态的一个反馈信号；输出（output）是从DPC发往一些控制装置比如阀门和流量计的控制信号。具体情况如下图所示：数字输入（DigitalInput）：共有16个，分别为：Nr.MNEMONICConditionAlarmActiveStatement1PressN2ONYES氮气压力是否正常2PressAirONYES压缩空气，用于气动阀3DoorCLSDOFFYES门是否关闭4RearEXHONYES尾气是否开启5UPSPOWERONYESUPS电源是否开启6UPSLOWONYESUPS电源是否电量太低7TempSCRONYESunknown8OverHeatONYES是否过热9FanSwitchONYES风扇开关是否打开10TempPOCL3ONYES源温是否正常11LevelPOCLONYES源液位是否在可用范围内12EXHDETECONYES厂务端尾气检测输入13GASDETECONYES厂务端气体检测输入14R2DALARMONYES以下是有关R2D装置的输入15*STARTONYES16*LOADINHOFFYES*数字输入主要是一些设备当前的状态信息，DPC通过他们来判断程序是否正确运行。数字输出（DigitalOutput）：共有16个，但只有7个是有效的，分别为：Nr.MNEMONICConditionStatement1N2ON用以控制大氮的阀3O2-LOWOFF用以控制干氧的阀7N2POCL3OFF用以控制小氮的阀12POCL3VALVOFF源阀的控制信号14*FIN...
