匀胶机使用说明书 中国科学院微电子研究所 一、概述 KW 型匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺。 匀胶机稳定的转速和快速的启动，可以保证胶厚度的一致性和均匀性，为此，该机采取了如下措施： （一） 定子和转子分开供电。定子用稳压电源供励磁电流，转子用开关电源调速，它比用可控硅调速优越得多，转速在 1000－8000转/分范围内非常稳定。 （二） 匀胶机有两个转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动变到高速运转。两转速及相应的时间分别可调。 （三） 本匀胶机测速采用光电的方法，在光电测速盘的边上有三个缺口，光电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时，光电开关的接收器没有信号，当光电盘的反射板（缺口以外的其余部分）转到光电开关上面时，光电接收器便接收到信号产生一个脉冲，光电盘旋转一周，光电接受器便接收到三次信号，因而产生三个脉冲。闸门由秒脉冲电路产生，周期为 2 秒。当马达旋转时，如果计时器在 2 秒内计得的数是n，则每秒钟应该转了 n/（2×3）＝n/6转，每分钟旋转（n/6）×60＝10n转。故计数器就是每分钟转速，只不过差一个数量级。 匀胶机的定时功能由时基电路556 来完成，把 556 按单稳形式连接，改变 RC 常数，就可以改变两个匀胶时间。在安装结构上，采取了减震措施，在运转时噪音很低。 二、 主要性能 1． 特点是双转速匀胶机，两档转速及其匀胶时间分别连续调节，在启动后先低速运转，经几秒钟后自动转换到高速运转。 Ⅰ档转速：500－2000 转/分 Ⅰ速匀胶时间：2－18 秒 Ⅱ档转速：1500－8000 转/分 Ⅱ速匀胶时间：3－60 秒 2． LED 数字显示，转速稳定度±1％，胶的均匀性±3％。 3． 体积小，重量轻，操作方便。 4． 电机功率：40W。 5． 适用于φ 5 至φ 100mm硅片及其它材料等匀胶。 三、控制件功能说明 1．电源开关：控制 220 伏电源的通断。 2．转速调节钮：调节匀胶转速。 3．控制：在启动后，定时时间未到，需立即停止而又不能停止吸片，此时只要抬起该键便可停止匀胶。 4．吸片：按下时吸住片托上的片子。为避免操作上的错误，“吸片”键具有联锁功能，不吸片则电机不转。“吸片”键抬起后匀胶也就停止。 5．启动：启动电机。必须在“控制”键和“吸片”键都按下时才能启动运转，否则虽按了“启动”键仍不能运转。 6．匀胶时间：调节匀胶时间长短，时间分别控制在1－18 秒和3秒－1 分钟，其所指刻...
