下载后可任意编辑净化车间液氮洗岗位操作规程12024 年 5 月 29 日液氮洗岗位操作规程编 制:XXX 审 核:XXX批 准:XXX净化车间二零一二年五月下载后可任意编辑目 录第一部分 生产工艺介绍.................................6一、工艺原理.........................................61.吸附原理........................................62.混合制冷原理....................................73.液氮洗涤原理....................................7二、工艺特点.........................................8三、生产工艺流程叙述.................................91.净化气流程(包括合成气流程)......................92.高压氮气流程...................................113.燃料气流程.....................................114.循环氢气流程...................................125.空分来的补充液氮流程...........................126.分子筛吸附器再生流程...........................127.冷箱低温液体排放(各导淋排放)...................13第二部分 技术操作规程................................14一、岗位任务........................................14二、岗位设备........................................14三、开停车操作规程..................................17(一)原始开车操作规程................................171、开车前的准备工作..............................171.1 管线的吹扫.................................171.2 分子筛的装填..............................191.3 气密试验..................................201.4 系统干燥置换...............................221.5 系统裸冷...................................241.6 珠光砂的装填...............................2812024 年 5 月 29 日下载后可任意编辑2、开车步骤......................................282.1 开车确认准备...............................282.2 吸附器再生.................................292.3 氮气置换干燥...............................302.4 冷箱内的制冷、制液.........................302.5 吸附器的冷却...............................322.6 冷箱充压导气...............................332.7 投联锁.....................................34(二)正常开车操作规程..............................