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半导体基础知识和半导体器件工艺

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下载后可任意编辑半导体基础知识和半导体器件工艺第一章 半導體基礎知識 一般物質根據其導電性能不同可分成三類。第一類爲導體, 它能够很好的傳導電流, 如: 金屬類, 銅、 銀、 鋁、 金等; 電解液類: NaCl 水溶液, 血液, 普通水等以及其它一些物體。第二類爲絕緣體, 電流不能通過, 如橡膠、 玻璃、 陶瓷、 木板等。第三類爲半導體, 其導電能力介於導體和絕緣體之間, 如四族元素 Ge 鍺、 Si 矽等, 三、 五族元素的化合物 GaAs 砷化鎵等, 二、 六族元素的化合物氧化物、 硫化物等。 物體的導電能力能够用電阻率來表示。電阻率定義爲長 1釐米、 截面積爲 1 平方釐米的物質的電阻值, 單位爲歐姆*釐米。電阻率越小說明該物質的導電性能越好。一般導體的電阻率在10-4 歐姆*釐米以下, 絕緣體的電阻率在 109 歐姆*釐米以上。 半導體的性質既不象一般的導體, 也不同于普通的絕緣體, 同時也不僅僅由於它的導電能力介於導體和絕緣體之間, 而是由於半導體具有以下的特别性質: (1) 溫度的變化能顯著的改變半導體的導電能力。當溫度升高時, 電阻率會降低。比如 Si 在 200℃時電阻率比室溫時的電阻率低幾千倍。能够利用半導體的這個特性製成自動控制用的熱敏元件( 如熱敏電阻等) , 可是由於半導體的這一特性, 容易引起熱不穩定性, 在製作半導體器件時需要考慮器件自身産生的熱量, 需要考慮器件使用環境的溫度等, 考慮如何散熱, 否則將導致器件失效、 報廢。(2) 半導體在受到外界光照的作用是導電能力大大提高。如硫化下载后可任意编辑鎘受到光照後導電能力可提高幾十到幾百倍, 利用這一特點, 可製成光敏三極管、 光敏電阻等。(3) 在純淨的半導體中加入微量( 千萬分之一) 的其它元素( 這個過程我們稱爲摻雜) , 可使她的導電能力提高百萬倍。這是半導體的最初的特徵。例如在原子密度爲 5*1022/cm3 的矽中摻進大約 5X1015/cm3 磷原子, 比例爲 10-7( 即千萬分之一) , 矽的導電能力提高了幾十萬倍。 物質是由原子構成的, 而原子是由原子核和圍繞它運動的電子組成的。電子很輕、 很小, 帶負電, 在一定的軌道上運轉; 原子核帶正電, 電荷量與電子的總電荷量相同, 兩者相互吸引。當原子的外層電子缺少後, 整個原子呈現正電, 缺少電子的地方産生一個空位, 帶正電, 成爲電洞。物體導電一般是由電子和電洞導電。 前面提到摻雜其它元素能改變半導體的導電能力, 而參與導電的又分...

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