下载后可任意编辑微电子器件与工艺课程设计1下载后可任意编辑目 录一·课程设计目的与任务……………………………………………………………1二·设计的内容………………………………………………………………………1 三·设计的要求与数据………………………………………………………………1四·物理参数设计……………………………………………………………………2 4.1 各区掺杂浓度及相关参数的计算………………………………………………24.1.1 各区掺杂浓度 ……………………………………………………………44.1.2 迁移率………………………………………………………………………42下载后可任意编辑4.1.3 扩散系数与电阻率………………………………………………………54.1.4 少子寿命和扩散长度……………………………………………………5 4.2 集电区厚度 Wc 的选择………………………………………………………64.3 基区宽度WB…………………………………………………………………7 4.5 扩散结深的设计………………………………………………………………9 4.6 芯片厚度和质量……………………………………………………………10 4.7 晶体管的横向设计、 结构参数的选择……………………………………10五、 工艺参数设计……………………………………………………………………11 5.1 工艺部分杂质参数……………………………………………3下载后可任意编辑……………12 5.2 基区相关参数的计算………………………………………………………14 5.3 发射区相关参数的计算……………………………………………………15 5.4 氧化时间的计算……………………………………………………………16六、 物理参数与工艺参数汇总………………………………………………………17七、 工艺流程图………………………………………………………………………19八、 生产工艺流程……………………………………………………………………23九、 版图………………………………………………………………………………33十、 心得体会…………………………………………………………………………344下载后可任意编辑十一、 参考文献………………………………………………………………………35PNP 双极型晶体管的设计一、 课程设计目的与任务《微电子器件与工艺课程设计》是继《微电子器件物理》、 《微电子器件工艺》和《半导体物理》理...
