测试部分 1
1 光电导测量仪 名称:WCT 光电导测量工具 仪器包含部分:个人计算机、少子寿命测试台、电池组 Qpaq-X 的电源 碘酒钝化 原始硅片去除损伤层,并按生产线方式清洗或在通风橱中按 RCA2(纯水 H2O:H2O2:HCl=5:1:1,沸腾后保持 6 分钟,纯水冲洗 10 分钟)-RCA1(纯水 H2O:H2O2:NH4OH=5:1:1,沸腾后保持 6 分钟,纯水冲洗 6 分钟)-RCA2(纯水 H2O:H2O2:HCl=5:1:1,沸腾后保持 6 分钟,纯水冲洗 6 分钟)清洗; 在通风橱中用纯水 H2O:HF=10:1 的溶液浸泡清洗好的硅片 1 分钟,纯水冲洗 10 分钟; 用氮气枪吹干硅片; 将吹干的硅片放入大小合适的塑料封口袋中,滴入适量的碘酒(0
08mol/l),使硅片上下表面均匀布满碘酒,封好塑料封口袋,不要使碘酒溢出; 将塑料封口袋和硅片一起置于少子寿命测试台上,进行测量; 测量结束后,在通风橱中用纯水打开塑料封口袋冲洗硅片三次,取出硅片放入承片盒中再用纯水冲洗 10 分钟,用氮气枪吹干硅片
少子寿命测量方法 对测试滤片进行选择为 1 号滤光片和厚的滤光片
先进行校准,取电阻率大于 100 的 F 校准标准硅片放置于基台上,点开 Lifetime 的 Excl文件夹
在 Cailration 目录下进行校准,调整基台下面的旋钮,使蓝线与 0
1 标准线重合
将碘酒钝化的硅片放置于测试台面上,点文件中的 Measure wafer 键,对图形中的蓝点进行中间修正后读值
2 非接触式少子寿命测量仪器(SEMILAB) 名称:WCT 光电导测量工具 仪器包含部分:个人计算机、测试基台 将需要测试的不同硅片放置于测试台面上 使用软件为 UPCD,测试多为扩散后的硅片
点击 ASET 键,LT 为测试显示值
少子寿命数值规定如下: