下载后可任意编辑重大关键核心技术研发项目资金申请报告项目名称 高端微纳光刻装备研发与产业化 项目承担单位 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 项目负责人 陈林森 联系电话 -826 项目主持部门 江苏省进展和改革委员会 申报日期 3 月 11 日 江苏省推动战略性新兴产业进展工作领导小组办公室二○一五年一月目录一、 项目的背景和必要性
3下载后可任意编辑( 一) 国内外现状:
3( 二) 技术进展趋势:
5( 三) 拟解决的关键技术和问题:
6( 四) 对产业进展的作用与影响:
7( 五) 市场分析:
8二、 项目法人基本情况
9三、 项目的技术基础
13( 一) 成果来源及知识产权情况
13( 二) 产学研合作情况
15( 三) 已完成的讨论开发工作及中试情况和鉴定年限
17( 四) 技术或工艺特点以及与现有技术或工艺比较所具有的优势
22( 五) 重大关键技术突破对行业技术进步的重要意义和作用 24四、 项目建设方案