二次配turnon流程技术方案目录1CDA、N2、O2、Arturnon操作流程2H2turnon操作流程3排气turnon操作流程4化学品供应及废液排放turnon操作流程5纯水、PCW、Drainturnon操作流程6电力turnon操作流程第一步：turnon前检查（CDA、N2、O2、AR）设备厂商及设备担当：检查设备内部管道连接、阀门组装完成，具备turnon条件。二次配厂商及动力担当：检查管道连接正确，标识完整，相关测试完成。第二步：检查二次配管路压力（CDA、N2、O2、AR）设备厂商：打开阀门，通过压力表检查二次配管路压力。二次配厂商：保持takeoff点阀门关闭。由于测试、吹扫，管路里可能是正压，或者负压。第三步：二次配管路降压（CDA、N2、O2、AR）设备厂商：通过设备将管路压力抽到负压，或者放空到微正压。二次配厂商：保持takeoff点阀门关闭。第四步：turnon（CDA、N2、O2、AR）设备厂商：根据二次配厂商turnon的气体管路，打开阀门，连接正确检查压力、流量，并再次确认管路是否。二次配厂商：分气体种类、分腔室单独一个一个打开阀门，并配合设备厂商检查压力和流量。第五步：检查压力、流量（CDA、N2、O2、AR）设备厂商及设备担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。二次配厂商及动力担当：检查确认压力、流量、管路问题后，签字确认。连接均没有目录1CDA、N2、O2、Arturnon操作流程2H2turnon操作流程3排气turnon操作流程4化学品供应及废液排放turnon操作流程5纯水、PCW、Drainturnon操作流程6电力turnon操作流程第一步：turnon前检查（H2）二次配厂商及动力担当：检查管道连接正确，标识完整，保压、氦检完成设备厂商及设备担当：检查设备内部管道连接、阀门组装完成，具备turnon条件。第二步：检查二次配管路压力（H2）二次配厂商：保持VMB内阀门关闭。设备厂商：打开阀门，确认管路内为负压状态。第三步：turnon（H2）二次配厂商：1.分腔室单独一个一个turnon；2.Turnon步奏：调压阀关闭，两个手动阀缓慢打开，通过缓慢调节调压阀，将H2turnon至GASBOX。设备厂商：根据二次配厂商turnon的管路顺序，打开阀门，并调节压力，检查压力、流量，并再次确认管路是否连接正确。第四步：检查压力、流量（H2）二次配厂商及动力担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。设备厂商及设备担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。目录1CDA、N2、O2、Arturnon操作流程2H2turnon操作流程3排气turnon操作流程4化学品供应及废液排放turnon操作流程5纯水、PCW、Drainturnon操作流程6电力turnon操作流程第一步：turnon前检查（酸碱、有毒、有机、一般排气）设备厂商及设备担当：检查设备内部管道连接、阀门组装完成，具备turnon条件。二次配厂商及动力担当：检查管道连接正确，标识完整，相关测试完成。第二步：turnon（酸碱、有毒、有机、一般排气）设备厂商：根据二次配厂商turnon的气体管路，打开阀门，检查压力、流量，并再次确认管路是否连接正确。二次配厂商：打开阀门，并配合设备厂商检查压力和流量。第三步：检查压力、流量（酸碱、有毒、有机、一般排气）设备厂商及设备担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。二次配厂商及动力担当：检查确认压力、流量、管路连接均没有问题后，签字确认。目录1CDA、N2、O2、Arturnon操作流程2H2turnon操作流程3排气turnon操作流程4化学品供应及废液排放turnon操作流程5纯水、PCW、Drainturnon操作流程6电力turnon操作流程第一步：TurnOn前检查设备厂商及设备担当：检查设备内信号线、化学品供应管道、废液排放管道连接正确；二次配厂商及动力担当：检查信号线、化学品供应管道、废液排放管道连接正确，标识完整，废液可顺利排放至废液罐。第二步：信号测试设备厂商及设备担当：发出/停止药液需求信号；二次配厂商及动力担当：确认CCSS房间内供应设备收到/停止药液需求信号；第三步：阀门TurnOn设备厂商及设备担当：TurnOn工艺端药液供应及废液排放阀门；二次配厂商及动力担当：TurnOnVMB、废液罐的相应阀门；第四步：药液供应设备厂商及设备担当：发出药液需求信号，检查流量，并再次确认管路是否...
