电脑桌面
添加小米粒文库到电脑桌面
安装后可以在桌面快捷访问

材料研究方法电子探针VIP免费

材料研究方法电子探针_第1页
1/47
材料研究方法电子探针_第2页
2/47
材料研究方法电子探针_第3页
3/47
电子探针x射线显微分析ElectronProbeMicroanalysis4.电子探针x射线显微分析电子探针仪(EPMA)是一种微区成分分析仪器。采用被聚焦成小于1的高速电子束轰击样品表面,利用电子束与样品相互作用激发出的特征x射线,测量其λ和Ι,确定微区的定性、定量的化学成分。SEM-EPMA组合型仪器,具有扫描放大成像和微区成分分析两方面功能。um4.1工作原理具有足够能量的细电子束轰击试样表面,激发特征x射线,其波长为:λ与样品材料的Z有关,测出λ,即可确定相应元素的Z。)(1ZK工作原理某种元素的特征x射线强度与该元素在样品中的浓度成比例,测出x射线I,就可计算出该元素的相对含量。4.2构造主要有柱体(镜筒)、x射线谱仪、纪录显示系统。镜筒包括电子光学系统、样品室、OM等。EPMA与TEM大体相似,增加了检测特征x射线λ和I的x射线谱仪——波谱仪、能谱仪。X-ray谱仪(1)波长分散谱仪WDSWavelengthDispersiveSpectrometer通过衍射分光原理,测量x射线的λ分布及I。已知d的晶体(分光晶体),反射不同的x射线,在特定位置检测。工作原理由布拉格定律,从试样中发出的特征X射线,经一定晶面间距的晶体分光,波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。连续改变,在与X射线入射方向呈2的位置上测到不同波长的特征X射线信号。由莫塞莱定律可确定被测物质所含元素。分光晶体专门用来对x射线起色散(分光)作用的晶体,具有良好的衍射性能、强的反射能力和好的分辨率。晶体展谱遵循布拉格方程,对于不同λ的x射线,需要选用与其波长相当的分光晶体。为了提高接收X射线强度,分光晶体通常使用弯曲晶体。弯曲分光晶体两种聚焦方式约翰型聚焦法:晶体曲率半径是聚焦圆半径的两倍约翰逊型聚焦法:晶体曲率半径和聚焦圆半径相等两种聚焦方式约翰型:当某一波长的X射线自点光源S处发出时,晶体内表面任意点A、B、C上接收到的X射线相对于点光源来说,入射角都相等,由此A、B、C各点的衍射线都能在D点附近聚焦。因A、B、C三点的衍射线并不恰在一点,是一种近似的聚焦方式。约翰逊型:A、B、C三点的衍射束正好聚焦在D点,叫做完全聚焦法波长色散谱WDS特点:分析速度慢单个元素测量,做全分析时间较长。分辨率高:10eV谱仪分辨率是指分开、识别相邻两个谱峰的能力。测量精度高,多用于超轻元素Z<9测量。峰背比大背底扣除容易,数据处理简单。分析元素范围:4Be-92U样品表面要求平整、光滑。(2)能量色散谱仪EDSEnergyDispersiveSpectrometer利用固态检测器(锂漂移硅)测量每个x射线光子的能量,并按E大小展谱。得到以能量为横坐标、强度为纵坐标的x射线能量色散谱,显示于荧光屏上。工作原理锂漂移硅半导体探测器,习惯记Si(Li)探测器。X射线光子进入Si晶体内,产生电子–空穴对,在100K左右温度时,每产生一个电子–空穴对消耗的平均能量为3.8eV。能量为E的X射线光子所激发的电子–空穴对数N为N=E/入射X射线光子E不同,激发的N不同,探测器输出电压脉冲高度由N决定。NaCl的扫描形貌像及其能量色散谱EDS特点:分析速度快分辨率较低:150eV峰背比小谱峰宽、易重叠,背底扣除困难,数据处理复杂分析元素范围:11Na-92U进行低倍扫描成像,大视域的元素分布图。对样品污染作用小适于粗糙表面成分分析不受聚焦圆的限制,样品的位置可起伏2-3mm工作条件:探测器须在液氮温度下使用,维护费用高。WDS与EDS比较WDS分析元素范围广、分辨率高、适于精确的定量分析,对样品表面要求高、分析速度慢,易引起样品和镜筒的污染。EDS在分析元素范围、分辨率方面略逊,分析速度快、对样品表面要求不高、可用较小的束流和细微电子束,适于与SEM配合使用。波谱仪的晶体分光特点,对波长为的X射线不仅可以在探测到n=1的一级X射线,同时可在其它角处探测到n为不同值的高级衍射线。波谱定性分析不如能谱定性分析那么简单、直观,就要求对波谱进行更合乎逻辑的分析,以免造成错误。例:SK(n=1)存在于0.5372nm处,CoK(n=1)在0.1789nm处,CoK(n=3)的三级衍射在30.1789nm=0.5367nm处,故SK的一级线和C...

1、当您付费下载文档后,您只拥有了使用权限,并不意味着购买了版权,文档只能用于自身使用,不得用于其他商业用途(如 [转卖]进行直接盈利或[编辑后售卖]进行间接盈利)。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。
3、如文档内容存在违规,或者侵犯商业秘密、侵犯著作权等,请点击“违规举报”。

碎片内容

材料研究方法电子探针

您可能关注的文档

确认删除?
VIP
微信客服
  • 扫码咨询
会员Q群
  • 会员专属群点击这里加入QQ群
客服邮箱
回到顶部