热式气体质量流量计是基于早期热线风速计的基础上发展起来的一种新型气体流量检测仪表，已广泛应用于航空、航天、能源、医学、汽车工业以及天然气管道运输等行业。目前，国内有关热式气体质量流量计的研究和应用尚处在初级阶段，绝大多数产品都需要进口，尤其是针对大中型管道的气体流量测量的热式气体流量计。因此，研究热式气体质量流量计将对于我国国民经济的发展具有很大意义。本文在已研制单点热式气体质量流量计的基础上，针对目前大口径或不规则管道气体质量流量测量中存在的单点测量精确度不高、差压式仪表压损太大以及速度-面积法测量困难等问题，提出了基于多点测量的热式气体质量流量测试方法。 1 测量原理及敏感元件温度特性 热式质量流量计根据加热元件的不同，分为热线式和热膜式[1]～[2]。本文采用薄膜铂电阻（铂膜电阻或铂膜探头）作为敏感元件。铂膜电阻作为一种新型的感温元件，具有尺寸小、响应快、易于与集成电路相匹配的特点，且具有测温范围宽、精度高、线性好、性能稳定等优点。在温度补偿、温度及流量的测量和控制等领域有广泛的应用。 铂膜电阻在作为流量传感器使用时，由于探头散热条件与环境温度有极大关系，其信号输出将受环境温度变化的影响。为了定量地掌握热膜探头的温度特性，我们根据热式流量计加热探头工作温度范围，对热膜探头在不同环境温度下进行温度特性试验。将热膜探头放置在温度可调的恒温箱中，给探头加上某一恒定工作电流 I，在不同的工况条件下，测量探头两端电压 V，然后计算热膜探头电阻。热膜探头温度特性实验装置如图1 所示。 VIR温度计恒温箱轴流风机 热膜探头 恒流源 RLRL 图1 热膜探头温度特性实验装置 由于热膜探头的工作温度很难精确测量，因此在静态温度特性实验中，首先建立热膜探头工作电阻随温度变化的曲线，即在热膜探头无自热效应的前提下(工作电流≤1mA)，热膜探头电阻随环境温度变化趋势。根据实际情况，本文选用 Pt20 热膜探头作为试验研究对象。 热膜探头在无自热效应下，热膜探头电阻随环境温度变化关系如图2 所示： y = -2E-06x2 + 0.0795x + 19.9682022242628301030507090110环境温度/℃热膜探头电阻/Ω 图 2 热膜探头电阻随温度变化曲线 由热膜探头静态温度特性曲线建立热膜探头电阻tR 与环境温度t之间的关系： )10002.110981.31(968.19273ttRt (1) 工业上采用薄膜铂电阻作为测温元件，主要是利用铂电阻在无自热效应前提下t...
