ECFFUelisa6系统培训资料

EC-FFU 系统培训资料 培 训 资 料 版本： 1 .0 .3 1 日期：2 0 0 8 年6 月2 8 日 第 1 页 共 2 7 页 EC-FFU 系统培训资料 第 2 页 共 27 页 目 录 一．洁净厂房基础知识―――――――――――――――――――――――――――3 二．FFU 结构介绍―――――――――――――――――――――――――――――6 三．FFU 的安装注意―――――――――――――――――――――――――――－7 四．EC-FFU 的调试―――――――――――――――――――――――――――－8 五．EC-FFU 软件使用说明―――――――――――――――――――――――――9 EC-FFU 系统培训资料 第 3 页 共 27 页 洁净厂房基础知识 一．洁净厂房的定义 洁净厂房，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的厂房。就是不论外在空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。 洁净厂房最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净厂房。 洁净度等级国家标准GB50073-2001大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) 空气洁净度等级(N) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um Class 1 级 10 2 Class 10 级 100 24 10 4 Class 100 级 1000 237 102 35 8 Class 1000 级 10000 2370 1020 352 83 Class 10000 级 100000 23700 10200 3520 832 29 Class 100000 级 1000000 237000 102000 35200 8320 293 352000 83200 2930 3520000 832000 29300 35200000 8320000 293000 二．洁净室的分类 1．层流式： 厂房中空气气流方向成一均匀的直线形，空气由覆盖率100%的高效过 滤 器 进 入 室内，并由高架 地 板 或两 侧 隔 墙 板 回 风 ，此型 式适 用于洁净等级要求较 高的环境中，一般 其洁净室等级为Class 1~ 100。 2．乱 流式： 空气由空调 箱 经 风 管 与洁净室内的空气过 滤 器 (HEPA)进 入 洁净室，并由洁净室两 侧 隔间墙 板 或高架 地 板 回 风 。气流非 直线型 运 动而呈 不规 则 的乱 流或涡 流状 态 。此...