ic半导体测试基础

本章节我们来说说最基本的测试——开短路测试（Open-Short Test），说说测试的目的和方法。 一．测试目的 Open-Short Test 也称为 ContinuityTest 或 Contact Test，用以确认在器件测试时所有的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接，并且没有信号引脚与其他信号引脚、电源或地发生短路。 测试时间的长短直接影响测试成本的高低，而减少平均测试时间的一个最好方法就是尽可能早地发现并剔除坏的芯片。Open-Short 测试能快速检测出 DUT 是否存在电性物理缺陷，如引脚短路、bond wire 缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等。 另外，在测试开始阶段，Open-Short 测试能及时告知测试机一些与测试配件有关的问题，如 ProbeCard 或器件的Socket 没有正确的连接。 二．测试方法 Open-Short 测试的条件在器件的规格数或测试计划书里通常不会提及，但是对大多数器件而言，它的测试方法及参数都是标准的，这些标准值会在稍后给出。 基于PMU 的Open-Short 测试是一种串行（Serial）静态的DC 测试。首 先 将 器件包括 电源和地的所有管 脚拉 低至 “ 地” （即 我们常说的清 0），接着 连接 PMU 到 单 个的DUT 管脚，并驱 动 电流 顺 着 偏 置 方向 经 过 管 脚的保 护 二极 管 —— 一个负 向 的电流 会流 经 连接到 地的二极 管 （图 3-1），一个正向 的电流 会流 经 连接到 电源的二极 管 （图 3-2），电流 的大小在 100uA 到 500uA 之 间就足 够 了。大家 知道，当 电流 流 经 二极 管 时，会在其 P-N 结 上引起 大约 的压 降 ，我们接下 来去 检测连接点 的电压 就可以知道结 果 了。 既 然 程 序 控 制 PMU 去 驱 动 电流 ，那 么 我们必 须 设 置 电压 钳 制，去 限 制 Open 管 脚引起 的电压 。Open-Short 测试的钳 制电压 一般 设 置 为 3V——当 一个 Open 的管 脚被 测试到 ，它的测试结 果 将 会是 3V。 串行静态Open-Short 测试的优 点 在于它使 用的是 DC 测试，当 一个失效 （failure）发生时，其准确的电压 测量 值会被 数据 记 录 （datalog）真 实 地检测并显 示 出来，不管 它是Open 引起 还 是 Short 导 致 。缺点 在于，从 测试时间上考 虑 ，会要 求 测试系统对DUT 的每 个管脚都有相应的独立的DC 测试单元。对于拥有PPPM...