1 安徽嘉硕真空科技有限公司 JSD-300 型真空镀膜机 使 用 说 明 书 安徽嘉硕真空科技有限公司 2 安徽嘉硕真空科技有限公司 目 录 1、概述…………………………………………………………………………………………………………3 2、主要技术性能参数………………………………………………………………………………3 3、设备安装……………………………………………………………………………………………….5 4、操作规程……………………………………………………………………………………………….5 5、使用注意事项、维护与保养…………………………………………………………….7 6、设备主要配置……………………………………………………………………………………….8 7、技术资料清单…………………………………………………………………………………………9 3 安徽嘉硕真空科技有限公司 一、概述 JSD-300 型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。 二、主要技术性能参数 1. 真空室：φ300*H450mm； 2. 基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热 0-300 度连续可调）； 3. 最大可镀工件直径：φ120mm； 4. 极限真空度：1X10-4Pa; 5. 抽气时间：大气压~8*10-3Pa 小于20min； 6. 蒸发：电阻式蒸发电极（2 对） 功率：2KW； 7. 开启方式：上翻盖结构； 8. 真空系统：机械泵+分子泵； 设备结构介绍： 1. 真空室 钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配φ100 观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源等； 2. 真空系统 采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构； 3. 电气系统 电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。 4 安徽嘉硕真空科技有限公司 系统示意图如下所示： 图1 JS D-300 真空镀膜机示意图 调节旋纽 电控面板 电流表 蒸发开关 膜厚仪探头 步进电机 插板阀 预抽阀门 备用接口 分子泵电源 前门板 总开关 电离单元 观察窗挡板 真空室 陶封电极 电机控制器 电阻单元 真空计 膜厚仪 加热温控电源 封板 地脚 脚轮 观察窗 温控仪表 5 安徽...
