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NIKONSCANNER同期精度控制方法的研究与实现中期报告

NIKONSCANNER同期精度控制方法的研究与实现中期报告_第1页
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精品文档---下载后可任意编辑NIKONSCANNER 同期精度控制方法的讨论与实现中期报告本讨论的目的是讨论 NIKONSCANNER(尼康扫描仪)同步精度控制方法,并进行实现。本中期报告主要介绍讨论进展和实现结果。一、讨论内容1. 对 NIKONSCANNER 扫描仪的工作原理进行了深化讨论,分析了其同步控制机理和存在的精度问题。2. 提出了一种基于激光干涉仪的反馈控制方法,用于提高NIKONSCANNER 的同步精度。3. 设计了反馈控制系统的硬件和软件方案,实现了激光干涉仪与NIKONSCANNER 的数据传输和联动控制。4. 进行了实验测试,对比了有无激光干涉仪控制的NIKONSCANNER 在同步精度上的差异,并分析了实验结果和影响因素。二、讨论进展1. 已完成 NIKONSCANNER 的系统架构和工作原理的分析。2. 在实验室内搭建了 NIKONSCANNER 和激光干涉仪的联动系统,并成功实现了反馈控制。3. 进行了原理验证实验,并猎取了初步数据结果。三、实现结果通过实验数据发现,使用激光干涉仪进行反馈控制,能够有效地提高 NIKONSCANNER 的同步精度。在没有激光干涉仪控制的情况下,NIKONSCANNER 同步精度为 0.03mm 左右;而添加反馈控制后,其同步精度优化为 0.005mm 左右,提高了一个数量级。四、未来讨论1. 进一步优化反馈控制算法,提高同步精度。2. 系统化地讨论坐标轴间的耦合问题,探究更加准确的控制方法。3. 将讨论成果应用于实际生产中,推动扫描仪的应用和进展。

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