7250 压力控制器 操作说明 7250 压力控制器中文说明 1 目录 1．1 概述…………………………………………………………………………………5 1．2 基本信息 1．3 特性 1．4 标准配置和选件……………………………………………………………………6 2 操作原理………………………………………………………………………………7 2．1 概述 2．2 电源 2．3 电气模块 2．3．1 后面板 2．3．2 微处理器板 2．3．3 数字控制板 2．3．4 IEEE-488 接口…………………………………………………………………8 2．3．5 前面板 2．4 气动模块……………………………………………………………………………9 2．4．1 气动测量模块…………………………………………………………………11 2．4．1．1 参考口 2．4．1．1．1 气压传感器 2．4．1．2 测试口 2．4．2 气动控制模块 2．4．2．1 气源压力口 2．4．2．2 真空源（Ex hau st）口 2．4．2．3 压力控制 2．5 控制原理…………………………………………………………………………12 2．5．1 内环和外环控制回路 2．5．2 正常模式 2．5．3 快速模式 2．5．4 内环和外环同时控制 2．5．5 PID 控制 2．6 传感器模块………………………………………………………………………13 2．6．1 石英波端管传感器（01 传感器） 2．6．2 传感器板块 2．6．3 线性 2．6．4 辅助传感器 2．6．4．1 真空传感器 2．7 软件………………………………………………………………………………14 2．7．1 安全因素 2．7．1．1 防止操作错误 2．7．1．2 气动错误 2．7．1．3 关断 7250 压力控制器中文说明 2 2．7．1．4 炉温控制 2．7．1．5 压力值读取和校正 3 安装……………………………………………………………………………………16 3．1 概述 3．2 拆除主机包装 3．3 注意 3．4 打开主机电源 3．4．1 Observing the dpc’s full scale rating 3.5 气动连接……………………………………………………………………………17 3．5．1 气源压力口 3．5．2 排气口 3．5．2．1 绝压模式 3．5．3 测试口 3．5．4 参考口 3．5．5 真空传感器的安装……………………………………………………………18 4 本机操作………………………………………………………………………………21 4．1 指南 4．1．1 选择语言...
