CH&HW冰热水系统CHW中温冰水系统CH-XX中温冰机HCH-XX热回收冰机CWP-XX中温冷却水泵CHP1-XX中温冷冻水一次泵CHP2-XX中温冷冻水二次泵CH-ET膨胀水箱LCHW低温冰水系统LCH-XX低温冰机LCWP-XX低温冷却水泵LCHP1-XX低温冷冻水一次泵LCHP2-XX低温冷冻水二次泵WW温水系统WWP温水泵HW热水系统SH壳管式热交换器HWP热水泵CRP蒸汽冷凝水泵ST-CT蒸汽冷凝水箱CR洁净室MAU新风空调VFD变频器FFU风机过滤机组ULPA超高效空气过滤器DCC干冷盘管EXH排气系统GEX一般排气SEX酸性排气AEX碱性排气VEX有机排气SCR洗涤塔PCW工艺制程冷却水PCWP工艺制程冷却水泵PHE板式热交换器Filter过滤器UPS不间断电源系统DySC电压暂降补偿器ET膨胀水箱PV工艺真空PVP制程真空泵PV TANK制程真空罐HV清扫清扫GHVAC一般空调系统OAHU新风空调系统PAHU （RCU)循环风空调系统FCU 风机盘管EF 排风机系统CCTV闭路电视监控系统NVR网络硬盘录像机POE以太网供电TV BOX电视盒子CMS中央控制系统SSR固态继电器GEN柴油发电机CTTS闭路过渡式转换开关ATS自动转换开关UPS不间断电源系统SCADA数据采集与监视控制系统RTU远程终端单元GPS全球定位系统MTR主变HV高压LV低压AC交流电DC直流电REC插座DYSC电压暂降补偿器ELEV电梯UPW超纯水UF超过滤Polish抛光床MDG膜脱气MB混床MDG膜脱气UV紫外线杀菌机TOC-UV紫外线除 TOC 杀菌机RO反渗透MMF多介质过滤器AC活性炭过滤器WC弱阳树脂塔2B阳床，阴床DG脱气塔PAC聚合氯化铝DO溶解氧TOC总有机碳Silica可溶解硅TUB浊度SDI污染密度指数WWT废水处理系统NS中和废水处理系统SS悬浮物质COD化学需氧量BOD生物需氧量HF含氟废水处理系统CMP化学机械研磨AMT含氨废水处理系统PDS制程排水系统DWWA一般酸碱排放管路DCHF浓氢氟酸排放管路DDHF稀氢氟酸排放管路DB/GW晶背研磨排放管路DFRW-Cu铜制程初道冲洗水排放管路DLRW后道冲洗水排放管路DCMP-clean化学机械抛光废水排放管路DF-FAB地板排水排放管路DIPA异丙醇排放管路Dsolvent-1有机溶剂-1 排放管路DWWA-PhotoPhoto 区一般酸碱排放管路DH2SO4-Cu铜制程初硫酸废液排放管路DH2 SO4硫酸废液排放管路DH3PO4磷酸废液排放管路PLB管道设备DW生活用水PW生产用水DWW生活温水MW中水RWRS雨水回收系统 IWWS工业污废水排水系统 EEW紧急冲身洗眼器 GMS气体监控系统CDA洁净的干燥的空气XCDA高纯的洁净的干燥的空气HPCDA高压的洁净的干燥空气IA仪表空气PN2制程氮气GN2一般氮气PH2制程氢气PO2制程氧气PAr制程氩气PHe制程氦气CQC连续质量控制ASU空...
