洁净实验室建设标准一、定义 二、控管项目 三、分类 乱流式(Turbulent Flow) 层流式(Laminar) 复合式(Mixed Type) 四、气流的流动 气流的重要性 风速的控制 影响因素 五、洁净室之构成 六、洁净室按用途分类(可分为两大类) 工业洁净室 生物洁净室 七、洁净室污染源知识 1、发尘量 2、发菌量 八、洁净室标准法律规范 国内标准法律规范 九、行业应用 十、详细参数 目录 一、定义 二、控管项目 三、分类 乱流式(Turbulent Flow) 层流式(Laminar) 复合式(Mixed Type)四、气流的流动 气流的重要性 风速的控制 影响因素五、洁净室之构成六、洁净室按用途分类(可分为两大类) 工业洁净室 生物洁净室七、洁净室污染源知识 1、发尘量 2、发菌量八、洁净室标准法律规范 国内标准法律规范九、行业应用 十、详细参数一、定义二、控管项目三、分类 乱流式(Turbulent Flow) 层流式(Laminar) 复合式(Mixed Type)四、气流的流动 气流的重要性 风速的控制 影响因素五、洁净室之构成六、洁净室按用途分类(可分为两大类) 工业洁净室 生物洁净室七、洁净室污染源知识 1、发尘量 2、发菌量八、洁净室标准法律规范 国内标准法律规范九、行业应用十、详细参数展开 一、定义 洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。根据国际惯例无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定.也就是说所谓无尘并非 100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上.当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必定的要求。 每立方米将小于 0.3 微米粒径的微尘数量控制在 3500 个以下,就达到了国际无尘标准的 A 级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于 A 级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米 1000 个以内,这也就是业内俗称的 1K 级别. 洁净室用途主要有以下三个: 空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施).它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备. 静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以根据设定...