洁净室空气洁净度等级表

干净室（区)空气干净级别表干净度级别尘粒最大允许数/立方米≥0。5μm 尘粒数≥5μm 尘粒数微生物最大允许数浮游菌/立方米沉降菌/皿100 级3,50005110，000 级350，0002,0001003100,000 级3，500,00020，00050010300,000 级10，500，00060,000100015ISO14644-1（国际标准）空气干净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）0。1um0。2um0.3um0.5um1。0um5.0umISO Class1102ISO Class210024104ISO Class31，000237102358ISO Class410,0002，3701，02035283ISO Class5100，00023,70010，2003，52083229ISO Class61，000，000237,000102,00035，2008，320293ISO Class7352，00083,2002，930ISO Class83,520，000832,00029，300ISO Class935,200，0008，320，000293,000注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平各国干净度等级近似对比表个/M≥0.5umISO14644-1US209E（1992）US209D（1988)EECcGMP(1989)FRANCEAFNOR(1981)GERMANYVDI 2083(1990）JAPANJAOA(1989)1-——-—-—3。52—---0210.0-M1—--—-35。33M1。51—-13100—M2——-——3534M2。510——241,000-M3—-—-—3，5305M3。5100A+B4,0003510,000—M4--——-35,3006M4。51,0001，000-46100,000—M5-----353,0007M5.510，000C400,000571,000,000-M6-——--3，530，0008M6.5100，000D4,000,0006810,000，000-M7-———-干净室及干净区空气中悬浮粒子干净度等级空气干净度等级(N)大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m³）0。1um0.2um0.3um0。5um1um5um1102210024104310002371023584（十级）1000023701020352835（百级）10000023700102003520832296（千级）10000002370001020003520083202937（万级）3520008320029308（十万级)3520000832000293009（一百万级)352000008320000293000