SECSSECS 标准，用来统一各个生产设备之间以与生产设备和控制设备之间的通讯，是半导体生产流程中最基本的标准。外文名Semiconductor Equipment and Materials Institute简 称SECS制定了半导体设备通讯标准接口功 能快速地整合在 CIM 的管理系统目录1. 1 引 言2. 2 SECS 标准简介 3. 3 系统的硬件组成1. 4 基于 SECS 标准串口通讯的实现 2.▪ 3.1 软件的实现 1.▪ 3.2 串口的编程 2. 5 结 论引 言在高度自动化的半导体制造厂中，CIM(Computer Integrated Manufacturing)统一管理各设备的生产流程，并随时监控设备过程的状态，以减少过程失误进而降低成本与提升产品的质量。但随着过程的不同，各设备有着不同特性的差异且各制造商所提供的设备也不尽相同，因此增加 CIM 自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不同的设备供应商之间没有标准的通讯协议。设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议与接口软件，这使得半导体生产商不得不建立他们自己的软件“连接”，导致了项目费用的巨大增加。SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)制定了半导体设备通讯标准接口 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)，让 CIM 与设备间有通用的通讯标准接口，设备制造商只要提供符合通讯标准规的设备，便可快速地整合在CIM 的管理系统，不但可缩短设备开发的时间与成本，并可增加设备装机的效率达到快速量产，进而提升产能输出。SECS 标准简介SECS 标准用来统一各个生产设备之间以与生产设备和控制设备之间的通讯，是半导体生产流程中最基本的标准。SECS 协议为点对点协议，它包括 2 个部分 SECS-Ⅰ 和 SECS-Ⅱ。SECS-Ⅰ 为基于 RS232 的传输层，定义了设备和主机之间的 MESSAGE 交互的通信接口，大致相当于 ISO/OSI 模型的下面 5 层。主要包括有块传输协议，MESSAGE 接收算法和节点传输算法；SECS-Ⅱ 则把 SECS-Ⅰ 传输的二进制串翻译成形象直观的格式表示出来，SECS-Ⅱ规传输资料的标准结构和显示容，方便使用者查看数据容。图 1 简单表示了 SECS 标准的典型应用，图中节点 C 代表主机，节点 A 和 B 表示设备，这些节点仅仅是组成整个网络的一部分。根据 SECS 标准的定义，每一个节点都能够根据消息头中的设备号位决定向哪一个节点传递消息，根据回答位决定控制消息的传递方向是沿着树向下还是向上。在图 1 中，节点...
