“微电子工艺学”课程设计讨论 微电子工艺学课程学时较少，内容丰富，技术一日千里，对师生提出较高要求。有限的课时下，老师应突出重点，让学生掌握大纲规定的教学内容。对重点内容、难点内容讲深讲透；布置作业引导学生进行创新性讨论，让学生把课堂理论转化为具体电路、版图设计，提高动手能力。“微电子工艺学”课程共有 32 学时，主要为理论教学。理论教学模式和实践教学仍处于摸索阶段，教学效果有待提高。本文对其课程设计进行相关讨论与探究。将老师的理论教学、实验教学与学生的自主学习相结合，激发学生学习兴趣，培育动手能力，提高教学效果；建立完善的试题库体系；利用已有的实验条件和仿真平台开展工艺实验和工艺流程仿真，建立一套完善的工艺设计实验教学体系；完善已有的专业见习和专业综合训练实践教学，让学生在见习和综合训练中得到锻炼，增加动手能力；进行网络教学平台建设，充分利用网络资源和网络平台形成良好的师生互动。本文拟解决的问题是制定面对电子科学与技术专业的“微电子工艺学”理论教学、实践教学、网络教学、题库建设、课程考核以及实施标准等课程设计。 一、国内外讨论现状分析 2024 年，电子科技大学罗小蓉老师强调将老师的理论教学、实验教学与学生的自主学习相结合的教学方式，以激发学生的学习兴趣，培育动手能力，提高教学效果。电子科技大学中山学院陈卉2024 年提出“微电子器件”实验教学改革与探究。2024 年，哈尔滨工业大学王蔚提出从课堂教学与实践教学整合角度出发，将“微电子工艺”课程的教学模式、内容、教材等将课堂、实验、实习 3种不同教学形式作为一个课程模块穿插讲授，理论与实践彼此相互促进，编写教材，进行初步实施及评价，获得学生和微电子课程群其他课程主讲老师的肯定，评教结果为“A+”。2024 年，华南理工大学廖荣提出微电子工艺实习教学改革探究。加快进展我国微电子产业成为刻不容缓的大事。高校必须为民族微电子产业做出贡献，让学生在校期间熟悉双极型和 MOS 集成电路的制造工艺流程，了解集成电路的新工艺和新技术，为学生毕业后从事相关专业打下坚实基础。 二、具体实施方案 1.课堂理论教学及学生学习效果实施标准建设。根据“微电子工艺学”知识点较多且抽象、工艺流程复杂等特点，老师在课堂教学中要重视与学生的互动，强调学生的自主学习能力培育，将讲解为主体改变为讲解——学习双主体。方法如下：首先，精简讲授时间，增加课堂讨论环节，给出课堂讨论...
