刻蚀工序作业指导书简述

刻蚀工序作业指导书1. 目的规晶硅电池片生产中刻蚀工序的各项操作。2. 围适用于本公司晶硅 125 单晶电池片生产中刻蚀工序的操作指导。3. 定义无4. 规性引用文件 无5. 职责5.1工艺工程师编制刻蚀工序作业指导书，并培训和指导操作员工进行操作。5.2生产部操作员工根据作业指导书的要求进行操作。6. 容6.1刻蚀岗位上料前作业指导书，见 2/17 页。6.2刻蚀岗位上料作业指导书，见 4/17 页。6.3刻蚀岗位下料作业指导书，见 6/17 页。6.4刻蚀岗位下料后作业指导书，见 8/17 页。6.5刻蚀岗位方块电阻测试作业指导书，见 9/17 页。6.6减薄量测试作业指导书，见 11/17 页。6.7刻通效果测试作业指导书，见 12/17 页。6.8防护品使用与交接作业指导书，见 13/17 页。6.9集中供液换液作业指导书，见 15/17 页。7. 记录7.1 电池生产记录表SH-QM3-Eng003-F018. 支持性文件8.1 《各工序返工片和碎片处理作业指导书》SH-QM3-Eng0089. 附录9.1 无刻蚀岗位上料前作业指导书相关夹具：无操作提示：戴好帽子和口罩，双手戴汗布手套，乳胶手套。下料左手加戴一次性手套（乳胶手套 2 小时更换一次，一次性手套 300 片换一次）备注：接触刻蚀后硅片双手均戴一次性手套。相关夹具：无操作提示：禁止传递窗两侧同时开启。1.操作准备2.打开传递窗相关夹具：承载盒操作提示：双手握承载盒由传递窗最多一盒相关夹具：承载盒操作提示：承载盒连同流程单按顺序轻放于上料工作台上摆放整齐，切勿震碎硅片。3.传递窗取片4.放片于上料工作台相关夹具：承载盒操作提示：关闭传递窗。然后检查硅片是否有新的配料单，假如有新的配料单，检查配料单上硅片阻值大小，如是低阻硅片（0.5~1.5Ω/sqr）请先通知工艺技术员确认。相关夹具：承载盒操作提示：双手轻握住硅片,取出后竖放于层压皮上，检查是否有缺角或损坏硅片。检查扩散面外观，是否有不良片.挑出不良片（层压皮每班使用前用酒精棉布擦拭）。5.关闭传递窗6. 检查硅片相关夹具：卸片盒操作提示：不良片放于指定位置相关夹具：卸片盒操作提示：每五单子抽测一次，每次取一单的不连续的 5 片，测试刻前重量 与方阻。7. 不良片放于指定位置8.取测试片相关夹具：电子天平操作提示：参照《减薄量测试作业指导书》见11/17 页相关夹具：四探针测试仪操作提示：参照《刻蚀岗位方阻测试作业指 导书》 见 9/17 页9.刻前硅片重量测试10.刻前方阻测试相关夹具：操作提示：记录刻前重量与方阻并提...