微机械加工技术及其在传感器中的应用摘要：微机械加工技术是在集成电路技术基础上研发出来的新兴技术，其在人们的生活和工作的不同领域中都发挥了非常重要的作用，因此受到了学术界和社会的普遍推崇与认可。不仅如此，其他发达国家也对微机械加工技术投入了大量的讨论资金，由此看出微机械加工技术的确受到了大众的关注与欢迎。本文主要以微机械加工技术在传感器中的应用为讨论重点，分析了其中存在的问题，希望为这一技术的应用提供借鉴信息。关键词：微机械加工技术；传感器；应用0 引言微机械加工技术的兴起要追溯到上世纪末，其快速进展的原因主要是因为微机械加工技术的使用涵盖了多个学科，这也是它能够广泛被公众关注的原因。其中有物理学、光学、力学以及生物学等等，这些学科都为微机械加工技术提供了一定的理论支持，使其在成熟进展后能够运用于各个领域，如汽车制造、航天技术、生物化学等。作为本世纪初的新兴技术，微机械加工技术由于其特有的特别性，也逐渐体现出它在各个领域的重要性，因此收到了社会的广泛关注和重视。不仅是我国，其他发达国家也对微机械加工的讨论投入了大量了人力和物力，但在讨论过程中也难免存在一些问题，通过本文对此技术的分析和讨论，希望为这一技术的应用和进展提供一定的借鉴意义。1 微机械加工的基础技术1.1LIGA 技术LIGA 技术在过去的几十年中始终是人们熟知和青睐的重要技术，它能够对金融材料进行加工，也能够对陶瓷、塑料等非金属材料进行加工。由此看出，LIGA 技术是新兴的三维加工技术，并且其加工特点主要以“高深”而闻名，加工的深度能够达到数百微米。LIGA 技术主要以加速器作为加工基础，将其产生的 X 射线刻在光敏聚合物层之上，形成部件的图形，再通过电场把金属迁移到已经形成的模型中，从而完成金属结构。1.2 微放电加工技术微放电加工技术也有其独有的特点，即加工阻力与其他技术相比都要小，不但能够加工导电性材料，还能够加工半导体材料。因此，微放电加工技术常常应用于微机械构件的制造。不仅如此，微放电加工技术还能够解决银钨丝在机床上成形的关键问题，并且随着多年的讨论和进展，微放电技术在加工的精度和微细程度方面都实现了较大的突破。1.3 腐蚀技术腐蚀技术主要涉及到三个方面：第一，湿法腐蚀技术。这一技术以电化学为基础，能够精准地控制腐蚀深度，主要用途于制作硅结构。第二，干法腐蚀技术。其特点是具有较高的分辨率和精准度，主要涉及到等离子体腐蚀...
