中緯積體電路（寧波）新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTSPAGES1.目的32。 範圍33。 文件送審44。 施工說明45.其他說明96。 驗收標準97。 保固期限111.目的為使設備機台根据計劃順利裝機、運轉，且亦能維護 Hook Up 二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。2.範圍2.1.製程設備氣體管線 Hook-up 工程材料採購及管路安裝；Hook-up 範圍,GN2、PN2、PO2、CDA 自主管預留閥至機台內部接點（ 含 支 管 ) ， PH2 、 SiH4 、 SiH4/N2 由 氣 體 站 氫 氣 純 化 器 出 口 及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台（含 VMB），其他特别氣體自位於氣體房或 Subfab 之氣瓶櫃/架至機台內部接點（含 VMB/VMP),其中必 要 的 管 線 、 管 件 及 焊 接 所 需 氣 體 ， 均 由 承 包 商 負 責 提供.GN2、PN2、PO2 各支管位置及預留 take-off 閥尺寸及數量，請參照"FAB”棟一層大宗氣體二次配平面圖 （圖號 SP—211）；各 VMB/VMP”位置，請參照 FAB”棟一層特别氣體二次配平面圖 (圖號 SP—212)；氣體站至 FAB”間氣體管線，請參照 氣體站至 FAB 棟氣體二次”配管線平面圖 （圖號 SP-234）；GN2、PN2、PO2、CDA 自 take-off”閥至機台間所需裝設之閥件，請參照 SP—2 二次配管詳圖”（圖號SP-231）；而 take—off 閥及 VMB/VMP 與機台銜接點等相關資料，”請 參 照 附 件 一Bulk gas take—off list"”、 附 件 二Specialty gas VMB/VMP list””及附件三 CDA take—off list"。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。2.2.前項氣體管線 Hook-up 工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO 圖繪製（Auto 2000 或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及 ISO 圖面，需依照機台用量流程圖（P&ID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認.2.3.本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。2.4.配合"二次配工程說明”（規範標號 NS—SP001)要求所需各項雜項費用.2.5.所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。2.6.所有管路防震固定支撐架之安裝定位.2.7.高架地板開孔及收邊之工程發包、請款,切割區域管理。2.8.氣體站至 FAB 間管線...
