第1页共28页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共28页1量块(0
5~1000)mm一等及以下JJG146-20032金属线纹尺(0~1000)mmU=(0
4LmJJG73-20053玻璃线纹尺(0~1000)mmU=(0
5LmJJG73-20054激光干涉比长仪(0~1000)mmU=(0
1Lmk=3JJG331-19945激光干涉仪(线性定位精度部分)(0~1000)mmU=(0
4Lmk=3JJG739-20056光栅、容栅、磁栅系统(0~1000)mmU=(0
4Lmk=3JJG341-19947位移传感器系统(0~1000)mmU=(0
4Lmk=3JJG836-19938旋光标准石英管-90°~+90°U=0
003°k=3JJG864-19949单刻线样板(0
1~46)m5%~2%(k=3)JJG2018-198910多刻线样板(0
1~10)mU99:(2~5)%JJG2018-198911校对样板(0
1~10)mU99:(2~5)%JJG2018-198912干涉显微镜H:(0
1~1)m±(22~5)%JJG77-200613双频激光干涉仪(0-1000)mm(0
4L)μm(k=3)JJG739-200514激光测量系统(0~10)m5×10-7L15双频激光干涉仪(0~10)m5×10-7L16位移传感器(0-1)m0
16m+110-6JJG836-199317齿轮螺旋线样板(0~90)、L≤100mm(1
8)m/100mm,(k=3)JJG408-200018标准齿轮齿向m1~m10D≤200mm螺旋线U=(1
8)m,(k=3)JJG1008-200619齿轮渐开