京东方光科技有限公司10.8T/H二级反渗透+EDI+抛光混床超纯水系统及废水回收系统设备方案书京东方光科技有限公司T-Module项目组目录一、技术规范...................................................................................................................................................11、设计要求.......................................................................12、设计依据.......................................................................23、系统对外界要求.................................................................24、工艺流程描述...................................................................3二、系统及设备技术要求...............................................................................................................................41、各主体设备的技术要求...........................................................41.1、预处理部分...................................................................4（1）原水储槽.................................................................4（2）原水泵...................................................................4（3）石英砂过滤器.............................................................4（4）活性炭过滤器.............................................................5（5）过滤水储槽...............................................................7（6）RO保安过滤器.............................................................71.2、RO脱盐部分...................................................................7（1）高压泵...................................................................7（2）反渗透装置...............................................................81.3、EDI脱盐部分.................................................................10（1）全自动电离子再生除盐装置................................................101.4、精致过滤器部分..............................................................10（1）TOC脱除器...............................................................10（2）精致过滤器装置..........................................................10（3）0.2μm微孔膜滤器........................................................10（3）0.1μm微孔膜滤器........................................................111.5、回水部分....................................................................11（1）UV杀菌器................................................................111.6、废水回收部分................................................................11（1）废水箱..................................................................11（2）UF进水..................................................................11（3）超滤装置................................................................11三、技术资料及工程质量.............................................................................................................................111、技术文件资料..................................................................112、设备监造检查所需要的技术资料..................................................12四、仪表与控制系统.....................................................................................................................................121、控制系统说明..................................................................122、自动控制系统..................................................................123、主要...
