洁净室和洁净区的环境控制要求---美国联邦标准209E发布时间：2009-12-2215:56:58被阅览数：0次来源：科泰瑞净化洁净室和洁净区的环境控制要求---美国联邦标准209E（1992年9月11日发布，取代1988年6月5日发布的FED-STD-209E）本标准经联邦政府服务总局、联邦供应服务司专员批准，供联邦政府各机构使用。目录1.范围及局限1.1.范围1.2.局限2.参考文献3.定义3.1.悬浮粒子洁净分级3.2.非动态采样3.3.标定3.4.洁净区3.5.洁净室3.5.1.空态洁净室（设施）3.5.2.静态洁净室（设施）3.5.3.动态洁净室（设施）3.6.凝结核计数器（CNC）3.7.离散粒子计数器（DPC）3.8.入口平面3.9.同轴性3.10.均动态采样3.11.监测3.12.非单向流3.13.粒子3.14.粒子浓度3.15.粒子尺寸3.16.学生分布3.17.U描述3.18.超微粒子3.19.单向流3.20.置信上限（UCL）3.21.鉴定4.悬浮粒子洁净室分级和U描述4.1.表I中列出的洁净度分级4.1.1.测量表I中所列粒子尺寸4.1.2.其它粒子尺寸的测量4.2.其它悬浮粒子洁净度分级替代的确定原则4.3.描述超微粒子浓度的规定（U描述）4.4.悬浮粒子浓度的命名4.4.1.悬浮粒子洁净度分级的格式4.4.2.U描述的格式5.悬浮粒子洁净度的鉴定和监测5.1.悬浮粒子洁净度的鉴定5.1.1.频度5.1.2.环境测试条件5.1.2.1.鉴定过程中洁净室或洁净区的状态5.1.2.2.环境参数5.1.3.粒子计数5.1.3.1.采样点和数量：单向流5.1.3.2.采样点和数量：非单向流5.1.3.3.采样点的限定5.1.3.4.采样量和采样时间5.1.3.4.1.表I各级别的单一采样计划5.1.3.4.2.其它级别或粒径的单一采样计划5.1.3.4.3.U描述的单一采样计划5.1.3.4.4.连续采样计划5.1.4.数据处理5.2.悬浮粒子洁净度的监测5.2.1.监测计划5.2.2.监测用的粒子计数5.3.测量悬浮粒子浓度的方法和装置5.3.1.大于等于5微米的粒子的计数5.3.2.小于5微米的粒子的计数5.3.3.超微粒子的计数5.3.4.粒子计数方法的局限5.3.5.粒子计数方法的标定5.4.统计分析5.4.1.鉴定的验收原则5.4.2.决定验收的计算5.4.2.1.采样点的平均粒子浓度5.4.2.2.平均值的中值5.4.2.3.平均值的标准偏差5.4.2.4.平均值的标准误差5.4.2.5.置信上限（UCL）5.4.2.6.采样计算6.变更推荐7.与参考文献的矛盾8.涉及的联邦政府机构附录A使用光学显微镜对悬浮粒子进行计数和测量附录B离散粒子计数器操作法附录C匀速及非匀速采样附录D超微粒子浓度测量方法附录EFED-STD-209E标准所采用的统计原理推论附录F连续采样：一种鉴定空气洁净度的可选方法附录G补充信息的来源注：本翻译尚未包含所有附录1.范围及局限1.1范围本文件建立了由悬浮粒子含量来规定空气洁净室和洁净区的空气洁净度的标准分级，并且提供了其他可供选择的分级方式。描述了鉴定空气洁净度的方法以及建立空气洁净度监测方案的要求。也提供了确定和描述超微粒子浓度的方法（U描述法）。1.2局限本文件技术要求不适用于洁净室和洁净区内使用的设备、物品，除悬浮粒子的大小分级和数量外，本文件对悬浮粒子的物理、化学、放射性或生命特征将不作描述。在悬浮粒子浓度与有生命的悬浮粒子量之间没有确定的关系。为了监测及控制其他形式的污染，除了对洁净空气供给要监测全部粒子污染物并满足所确定的限值外，还须有其他专门要求。2.参考文献2.1.《实验概率论》Box,GeorgeE.P.,Hunter,WilliamG.,J.stuart编著，JohnWileg&Sons出版，NewYork(1982).2.2.《悬浮微粒子技术：悬浮微粒子性质、状态及测量》Hinds,W.C.编著，JohnWileg&Sons出版，NewYork(1982).2.3.《联邦政府推荐常用公制单位》FED-STD-376，推荐使用国际单位制（SI），在国际单位与美国惯用单位相抵触时，国际单位制优先。3.定义3.1.悬浮粒子的洁净度分级洁净度是由每立方米（每立方英尺）空气中所含有最大允许微粒子数量来确定的，其分级明确见表I，其测定见5.4节中的概率方法。国际单位制中分级名称是由每立方米空气中含有0.5μm或更大微粒的最大允许数之常用对数来表示的，而英制单位（美国惯用）分级名称则取自每立方英尺空气中含有0.5μm或更大微粒的最大允许数。3.2.非动态采样在移动空气流的平均速度不同于空气进入取样器入口平均速度的采样状态下，由于粒子惯性，非动态采样会使样品中的...
