第1页共40页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共40页重大关键核心技术研发项目资金申请报告项目名称高端微纳光刻装备研发与产业化项目承担单位苏州苏大维格光电科技股份有限公司项目负责人陈林森联系电话0512-62868882-826项目主持部门江苏省发展和改革委员会申报日期2015年3月11日江苏省推进战略性新兴产业发展工作领导小组办公室二○一五年一月第2页共40页第1页共40页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共40页目录一、项目的背景和必要性............................................................................................3（一）国内外现状：...........................................................................................3（二）技术发展趋势：.........................................................................................5（三）拟解决的关键技术和问题：.....................................................................6（四）对产业发展的作用与影响：.....................................................................7（五）市场分析：.................................................................................................8二、项目法人基本情况................................................................................................9三、项目的技术基础..................................................................................................13（一）成果来源及知识产权情况.......................................................................13（二）产学研合作情况.......................................................................................15（三）已完成的研究开发工作及中试情况和鉴定年限...................................17（四）技术或工艺特点以及与现有技术或工艺比较所具有的优势...............22（五）重大关键技术突破对行业技术进步的重要意义和作用.......................24四、项目建设方案......................................................................................................26（一）建设的主要内容、建设规模...................................................................26（二）工艺技术路线与技术工艺特点...............................................................27（三）设备选型及主要技术经济指标...............................................................28（四）产品市场预测...........................................................................................30（五）建设地点、建设周期和进度安排、建设期管理等...............................32五、项目投资..............................................................................................................34（一）项目总投资规模、资金来源、投资使用方案.......................................34（二）资金筹措方案...........................................................................................35六、项目财务分析、经济分析及主要指标..............................................................36（一）财务分析...................................................................................................36（二）风险分析...................................................................................................38（三）经济效益分析...........................................................................................39（四）社会效益分析...........................................................................................39八、资金申请报告附件..........................................................
