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第1页共10页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共10页提高LED外量子效率摘要提高发光二极管的发光效率是当前的一个研究热点。简要介绍了从芯片技术角度提高发光二极管(LED)外量子效率的几种途径，生长分布布拉格反射层结构、制作透明衬底、衬底剥离技术、倒装芯片技术、表面粗化技术、异形芯片技术、采用光子晶体结构等。此外还介绍了发光材料、能带结构以及工艺对外量子效率的影响。关键词：发光二极管；外量子效率引言自从l991年Nichia公司Nakamura等成功研制出掺Mg的同质结GaN蓝光LED后，GaN基LED得到了迅速发展。GaN基LED以其寿命长、耐冲击、抗震、高效节能等优异特性在图像显示、信号指示、照明以及基础研究等方面有着极为广阔的应用前景[1]，将来还有可能代替白炽灯、荧光灯，实现人类照明史上的又一次革命。但目前商用白光LED的发光效率只有25耀50lm/W，其发光效率与荧光灯相比还比较低[2]。表1[3]给出了不同年份LED的发光效率，可以看出近30年来LED的发光效率提高了250倍以上。随着LED的应用越来越广泛，如何提高GaN基LED的发光效率越来越成为第2页共10页第1页共10页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共10页关注的焦点[2，4~6]。提高LED发光效率的两个基本出发点是提高其内量子效率和外量子效率。由于工艺和技术的成熟，已经可以制备内量子效率达到70%，80%的GaN基LED。因此，通过提高内量子效率来大幅度提高LED发光效率已没有很大的余地[2]。半导体照明LED关键技术之一也就是如何通过提高外量子效率来提升其出光效率。多年以来，人们开展了很多研究来提高其外量子效率[2]。下面主要介绍从芯片技术角度提高外量子效率的方法以及影响外量子效率的一些因素。1提高外量子效率1.1生长分布布拉格反射层(DBR)结构DBR(distributedBraggref-lector)结构早在20世纪80年代由R.D.Burnham等[7]提出。它是两种折射率不同的材料周期交替生长的层状结构，它在有源层和衬底之间，能够将射向衬底的光反射回表面或侧面，减少衬底对光的吸收，提高出光效率。DBR结构可以直接利用金属有机化学气相沉积发法(MOCVD)设备进行生长，无需再次加工处理。DBR结构由交替的多层高折射率和低折射率材料(折射率分别为hH和hL)组成，每层的光学厚度为发射波长的1/4。每层的厚度hH和hL分别为其中，是发射波长，和qL分别是每层的入射角。DBR结构的反射率由材料的折射率和周期数p决定。当DBR结构为2p+1层时，其反射率为当DBR结构为2p层，反射率为：第3页共10页第2页共10页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共10页从（4）式可以看出：周期数越多，两种材料折射率相差越大，DBR结构的反射率也越大。DBR结构的LED如图1所示。Kato等和Saka等[7]首先利用这种方法提高了吸收型GaAS衬底上生长的红外GaAs/AlGaAsLED的效率。具有GaN/AlGaNDBR的AlInGaN蓝色LED也已见报道。一般情况下应用10~20个周期的DBR[8]。传统DBR只对垂直入射和小角度入射的光有高反射率。对大倾斜角入射的光，由于其反射率很小，大部分光将透过DBR被GaAs衬底吸收，为此可以将两种不同中心波长的DBR组合成复合结构，这样就可以扩展反射带，从而大幅度提高LED器件的性能。于晓东等[9]制备了采用A10.6Ga0.4As/A1As复合DBR的LED器件，其出光效率较常规DBR可以提高约35豫，如配合其他优化结构，复合DBR结构对LED光提取效率的改善效果会更为明显。带DBR结构也可以直接利用MOVCD设备进行一次外延生长完成，具有很好的成本优势，而且材料晶格常数与衬底匹配，反射率高，对器件的电学特性影响小，目前已经应用于商业生产。1.2透明衬底技术除了采用DBR结构将光反射掉，还可以将LED的GaAs衬底换成透明衬底，使光从下底面出射。透明衬底技术主要是为了消除吸收衬底的影响，增大出光表面积。制作透明衬底的方法主要有：1)透明衬底可以在LED晶片生长结束后，移去吸光的n-GaAs衬底，利用二次外延生长出透明的、宽禁带导电层；2)先在n-GaAs衬底片上生长厚50um的透明层(例如AlGaAs)，然后再移去GaAs衬底；3)采用粘合技术[7]，将两个不同性质的晶片结合到一起，...