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第1页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共48页(流程QE)培训教材撰写:日期:版本:第2页共48页第1页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共48页内层D/F或涂布缺陷代号原因分析预防行动短路31.菲林碎2.显影不良3.板面不良4.曝光过度1.生产部显影前作露铜点测试及检查各项显影参数2.IQC来料检查,磨板后专人检查板面3.曝光前作曝光尺测试线幼41.Master菲林线宽不够2.曝光不良3.蚀刻过度1.QE检测PE生产的菲林2.曝光前生产部作曝光尺测试3.生产前检查各项蚀刻的参数第3页共48页第2页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第3页共48页内层D/F或涂布缺陷代号原因分析预防行动第4页共48页第3页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第4页共48页开路及缺口21.前处理不良2.菲林松或涂布过薄3.曝光垃圾4.擦断线1.生产前做磨痕,水破测试及分析各药水浓度确保各参数在控制范围2.定期检查辘板机压辘温度、压力及压辘表现情况;定时抽查滚动的厚度3.曝光前使用清洁辘清洁板面及定时清洁曝光机各部位4.制定Handling手册,严格按要求执行内层D/F或涂布第5页共48页第4页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第5页共48页缺陷代号原因分析预防行动蚀刻不干净11.走光2.冲板过度3.蚀刻参数不合理4.喷嘴堵塞1.生产前做曝光尺测试及保证抽真空在90%以上2.生产前做露铜点测试3.生产前做试板确定蚀刻线各参数4.每天开工前检查喷嘴板穿1、涂布不均匀2、菲林松3、蚀板前擦花1、定期检查涂布辘是否存在凹痕,涂布不均匀2、定时检查压辘温度是否在WI规定范围3、撰写handling手册,严格按规定执行黑氧化第6页共48页第5页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第6页共48页缺陷代号原因分析预防行动黑化不良51.褪膜不干净2.B/O参数不合理3.挂篮损坏1.化验室每天分析褪膜药水浓度2.生产部每班3次检查B/O线参数3.B/O后专人检查制板及时修理挂监黑化擦花6操作不规范制定Handling手册,严格按要求执行开路7微蚀过度(与挂监之间的电位差引致)在挂篮铜条处包上铁氟仑内层压板第7页共48页第6页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第7页共48页缺陷代号原因分析预防行动板料白点、白斑81.半固化片树脂含量不够2.压板温度过高引致3.半固化片内有杂物1.IQC来料测试2.严格根据压板程序执行3.IQC来料测试板料席纹91.胶含量不够2.半固化片树脂流量过大3.压板程序不良1.IQC来料测试2.所有新制板作FA白边、白角101.压板程序不良2.半固化片树脂流量过高1.所有新制板作FA2.IQC来料测试第8页共48页第7页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第8页共48页内层压板缺陷代号原因分析预防行动爆板111.内层板料B/O后有水泡2.内层Core上有杂物3.半固化片上有杂物1.加强B/O后的焗板及至排板的hold-time2.排板前作检查,将排板房控制为洁净房3.IQC来料作抽查铜皱121.树脂通道设计不良2.半固化片树脂含量不够3.排板时操作不规范1.压板前作FA2.IQC对来料作抽查3.撰写handling手册,严格按规定执行第9页共48页第8页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第9页共48页对位不正1、压板涨缩2、钻管位孔偏移1、压板前作FA2、每2小时调校钻管位孔机精度内层压板缺陷代号原因分析预防行动第10页共48页第9页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第10页共48页铜穿14操作不规范引致撰写Handling手册,严格按规定执行剥皮入单元151.操作不规范及工作不够用2.设计不良1.张贴剥铜皮机各项操作细则2.培训PE了解内层各机制作能力板凹161.铜面垃圾2.钢板擦花1.定时清洁无尘室环境,确保排板房尘粒在100K以下2.专人检查钢板及时修理钻房第11页共48页第10页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第11页共48页缺陷代号原因分析预防行动崩孔及钻歪孔11).钻嘴摇摆幌动1).增加转速,减少进刀速度2).检...

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