第1页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共48页(流程QE)培训教材撰写:日期:版本:第2页共48页第1页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共48页内层D/F或涂布缺陷代号原因分析预防行动短路31
生产部显影前作露铜点测试及检查各项显影参数2
IQC来料检查,磨板后专人检查板面3
曝光前作曝光尺测试线幼41
Master菲林线宽不够2
QE检测PE生产的菲林2
曝光前生产部作曝光尺测试3
生产前检查各项蚀刻的参数第3页共48页第2页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第3页共48页内层D/F或涂布缺陷代号原因分析预防行动第4页共48页第3页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第4页共48页开路及缺口21
前处理不良2
菲林松或涂布过薄3
生产前做磨痕,水破测试及分析各药水浓度确保各参数在控制范围2
定期检查辘板机压辘温度、压力及压辘表现情况;定时抽查滚动的厚度3
曝光前使用清洁辘清洁板面及定时清洁曝光机各部位4
制定Handling手册,严格按要求执行内层D/F或涂布第5页共48页第4页共48页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第5页共48页缺陷代号原因分析预防行动蚀刻不干净11
蚀刻参数不合理4
生产前做曝光尺测试及保证抽真空在90%以上2
生产前做露铜点测试3
生产前做试板确定蚀刻线各参数4
每天开工前检查喷嘴板穿1、涂布不均匀2、菲林松3、蚀板前擦花1、定期检查涂布辘是否存在凹痕,涂布不均匀2、定时检查压辘温度是否在WI规定范围3、撰写handlin