第1页共26页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共26页报告编号：机密等级：一般件解密期限：流通号：半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准建立(结案报告)计划主持人：林永芬执行人员：余清其、黄崇琦、林木荣合作单位：新竹科学工业园区管理局中华民国八十八年一月十五日谢志『半导体厂及光电厂化学品供应系统安全基准』之建立，承蒙新竹园区管理局钟锦海专委及林辉宏先生多方协助，提供园区厂商化学品现况数据、厂商协调作业及计划审议行政之执行。于计划执行期间，对于科学园区相关现况之调查及使用状况，更感谢德碁半导体、华邦电子、世界先进等司对安全基准提供工厂实际运作及未来发展方向之指导参考，也感谢台湾伊默克公司提供台湾供货商施工之安全考量。最后谢谢所有参与说明会之先进莅临指导草案之修正，期盼使本安全基准能成为捍卫工厂安全之共同基本准则。財團法人工業技術研究院工業安全衛生技術發展中心執行單位：第2页共26页第1页共26页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共26页摘要近年来园区产业之重大工安意外事故频传，由新竹科学园区民国83年至87年灾害分析数据显示，与化学品接触引发之职业灾害占发生灾害类型之第二位。并由日本半导体制程灾害事故分析显示，液体类化学品造成的灾害事故高达61%，为能有效发挥与落实安全管理制度，期建立半导体厂及光电厂液体化学品之储存、供应、使用相关规范、标准，使各厂能有统一之安全基准为管理参考依据，使业者透过安全基准规范，以有效发挥及落实安全管理，避免意外事故之发生。本计划不仅可做为现有化学品供应系统之安全基本依据及准则，对于系统之新建、修改及变更使用，对作业期间之自动检查与稽核，对维护保养管理之安全规范，均可为重要基本安全参考依据及要求，以预防半导体厂及光电厂所使用之化学品造成危害。过程中除汇整国内之劳工安全卫生施行细则及设施规则、特定化学物质危害预防标准、有机溶剂中毒预防规则、中国国家标准CNS…等，更参考国外规范如：SEMIS2-93、NFPA318、FMDataSheet7-7、FMDataSheet7-29、UBC…等相关资料，草案研拟并配合专家与业者实务经验，共同探讨研拟出可行性高、标准一致的准则，以建立最适宜台湾科技产业应用之安全基准。本基准以可燃性液体、酸性液体及碱性液体三类为研究建立标的，防范液体化学品外泄引火、腐蚀、泄漏、不兼容性混合及毒性之潜在危害为研究要项。基准之制定将化学品供应系统依化学品入厂至出厂所有过程为考量，以区域划分考量范围内之安全设施，将之划分成概述、收货区、储存区、储槽、分配输送房、清净室、输送系统管线及废液处理等项目。其各节重点如下：第一节概述，为整体性之人员防护管理、火灾阻隔设计及物质标示等；第二节收货区／码头，以化学品不兼容性、搬运储存、泄漏防护等为重点；第三节储存房，重点为化学品排液防护、通风排气及储藏设计；第四节分配输送房，重点为通风排气、排液泄漏、限量储存等；第五节储槽，重点为排液系统、安全指示／警报设计、泄漏应变及防制等；第六节储存柜／桶瓶空器／手推车，规范储存柜设计、容器使用限制、手推车使用规范等；第七节输送系统／管线，着点输送设计、加压系统安全防护及泄漏侦测；第八节清净室，规范使用于清净室之手推车、化学品使用限量及储放溢流保护等；第九章废液处理，重点为不兼容性危害及废液收集保护系统等。由以上建立安全卫生管理信息、准则方案，以确实达到防止灾害发生，保第3页共26页第2页共26页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共26页障劳工安全与健康，提升园区整体生产效率并创造整体产业经营利润。第4页共26页第3页共26页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共26页目录志谢................................................................Ⅰ摘要................................................................Ⅱ目录................................................................Ⅳ图目录......................................
