质量流量控制器技术说明书VIP专享VIP免费

1质量流量控制器和质量流量计使用说明书1质量流量控制器（缩写为）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（缩写为）,用于对气体的质量流量进行精密测量。系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、Q、聚四氟乙烯等适用于各种腐蚀性气体气体流量不因温度、压力的变化而失准高精度重复性好响应速度快、软启动、稳定可靠低压降工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。操作使用方便，可任意位置安装便于与计算机连接实现自动控制。系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：2半导体制造行业的气体流量控制分析仪器设备的气体计量与控制各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制特种材料表面处理装置与燃烧控制混气配气系统和泄漏探测系统等・S49本产品采用中华人民共和国电子行业标准以及所规定的通用技术条件及命名方法。其中：型为高精度质量流量控制器型高精度质量流量计。型为普通型质量流量控制器型普通型质量流量计。质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。执行Q/XCHBY001-2003企业标准3.nnnnnn质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（）标定。质量流量的单位规定为标准毫升分标准升分标准状态规定为温度°C气压一表示满量程值表型、型质量流量控制器技术指标4编号项目S49-33/MTS49-33M/MT1流量规格(0〜5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0〜1,2,3,5,10,15,20,30)SLM2调节阀类型电磁调节阀3调节阀静止位置常闭4准确度±1%F.S(5sccm〜10slm)±2%F.S5线性±(0.5〜1.5)%F.S6重复精度±0.2%F.S7响应时间(1〜10)sec8工作压差范围(0.05〜0.4)Mpa10〜30L(0.1〜0.4)Mpa9耐压3Mpa、Mpa10工作环境温度5°C〜45°C11材料不锈钢316L12标准密封材料Viton、或其他13漏率<2X10-9mbar.1/sHe14接头e〃〃或其他15输入输出信号0V〜+5.00V（输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA）16电源+15V50mA-15V200mA17外形尺寸mmXX18重量kg1.2表2.、型质量流量计技术指标5编号项目1流量规格(0〜5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0〜1,2,3,5,10,15,20,30)SLM2准确度±1%F.S±2%F.S3线性±(0.5〜1.5)%F.S4重复精度±0.2%F.S5响应时间1~4sec6气压降<0.01MPa7耐压3MPa、10MPa8工作环境温度5°C〜45°C11材料不锈钢316L12标准密封材料Viton、或其他13漏率<2X10-9mbar.1/sHe14接头e〃〃或其他电源+15V50mA-15V50mA11外形尺寸mmXXXX12重量kg11注意：系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。热式质量流量计6MT-50流量显示仪质量流量计由流量传感说自——的基础上，再加上调节阀门和流量控制器利用流动流彳体传:递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应通道和^流作I组成；在质量流量制电路就4.电轿电番7原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比满量程流量检测输出电压为。质量流量控制器的流量控制范围是〜（量程比为）流量分辨率是控制操作一般在系列流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相连时，由用户提供的外部电压控制流量。在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或作为流量计使用。在做流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达到以上，不过要注意，当流量超过满量程（）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但不会对流量计本身造成损伤。（参考流量显示仪的使用说明书）5.1S49□□□□...