36330z3主编第3章物性型传感器第3章物性型传感器3
1压电式传感器3
2光电式传感器3
3霍尔式传感器3
4磁电式传感器3
5超声波传感器3
6核辐射传感器3
1压电式传感器3
1压电效应某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而发生变形时,内部会产生极化现象,同时在其表面上产生电荷,当外力去掉后,电介质表面又重新回到不带电的状态,这种现象称为压电效应
反之,这些电介质在极化方向上施加交变电场,它会产生机械变形,当去掉外加电场后,电介质变形随之消失,这种现象称为逆压电效应
在自然界中大多数晶体具有压电效应,但压电效应十分微弱
随着对材料的深入研究,发现石英晶体、钛酸钡和锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料
现以石英晶体为例,简要说明压电效应的机理
1压电式传感器图3-1石英晶体a)天然结构的石英晶体外形b)晶体切片c)晶片结构a—晶体切片长度b—晶体切片厚度c—晶体切片高度x—电轴y—机械轴z—光轴3
1压电式传感器图3-2石英晶体压电模型a)不受力b)x轴方向受力c)y轴方向受力3
2压电式传感器的等效电路3
1压电式传感器由压电元件的工作原理可知,压电式传感器可以看做一个电荷发生器
同时,它也是一个电容器,晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板,极板间物质等效于一种介质,则其电容量Ca为图3-3压电传感器的等效电路a)电压源b)电荷源3
1压电式传感器图3-4压电传感器的实际等效电路a)电压源实际等效电路b)电荷源实际等效电路3
1压电式传感器图3-5电荷放大器等效电路3
3压电式传感器的测量电路3
1压电式传感器压电式传感器本身的内阻抗很高,而输出能量很小,因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器,其作用为:一是把压电式传感器的高输出阻抗变换为低输出阻抗;二是放大传感器输出的微弱信号
压电式传感器的输出可以是电压信号,也可以是电