学习资料整理分享涂层金刚石刀具综述1引言随着汽车、航空和航天等工业的发展，有色金属及合金、纤维增强塑料、纤维增强金属以及石墨、陶瓷等新型先进材料越来越多的应用到这些工业产品中，这对机械加工提出了高效率，高精度等要求，普通刀具已经不能满足需求，而迫切需要一种耐磨性更高、能稳定实现高精、高效、寿命更长的超硬刀具。金刚石涂层刀具因其具有十分接近天然金刚石的硬度和耐磨性、高的弹性模量、极高的热导率、良好的自润滑性和化学稳定性等优异性能，成为加工难加工材料的理想刀具。化学气相沉积（CVD）金刚石问世于20世纪80年代初［1］，1987年美国的Crystallume公司率先在CZ硬质合金刀片上沉积金刚石涂层。1995年瑞士的Sandvik公司与美国的BalzersAG公司合作建立了一条金刚石涂层生产线。1997年日本的刀具公司在北京展出了他们的金刚石涂层刀具。目前，国外已有金刚石涂层的丝锥、钻头、绞刀、立铣刀及可转位刀片等产品出售［2］，很多公司推出了自己的金刚石涂层产品，并且一些产品已进入了商品化阶段，如美国的Norton公司、SP3公司，欧洲的Balzers公司、CemenCone公司、Sandivik公司、美国诺顿公司等。图1.1为国外生产的金刚石涂层刀具。word专业整理学习资料整理分享word专业整理word专业整理学习资料整理分享的方法主要有热丝CVD、微波等离子CVD、直流电弧等离子喷射CVD等。图2.2是热丝CVD法的系统装置图。图2.3为几种常用的CVD金刚石膜制备方法的特点比较[8-10]。图2.2热丝CVD系统装置图图2.3几种常用CVD金刚石膜制备方法的特点比较。常规CVD金刚石薄膜晶粒度较大，表面较粗糙，导致耐用度和寿命下降，也很大程度的影响了切削性能、加工精度和工件表面质量，并且其后续抛光处理很困难。因此，改善常规金刚石薄膜的表面粗糙度和后续抛光技术尤显重要。从CVD金刚石沉积过程来看，控制沉积工艺参数，如碳源浓度、衬底温度、word专业整理word专业整理学习资料整理分享word专业整理学习资料整理分享
