第第1111章章电子探针显微分析仪电子探针显微分析仪(X(X射线显射线显微分析仪微分析仪)(EPMA))(EPMA)XX射线显微分析仪射线显微分析仪1.1.引言引言此章的目的是讲述电子探针显微分析仪器此章的目的是讲述电子探针显微分析仪器(EPMA,EMA)(EPMA,EMA)的工的工作原理及应用。作原理及应用。EMAEMA与扫描电镜与扫描电镜(SEM)(SEM)有很密切的关系，然有很密切的关系，然而，就当初研制的目的来说却是完全不同的。第一台商品而，就当初研制的目的来说却是完全不同的。第一台商品EMAEMA出现在出现在5050年代后期，比扫描电镜子年代后期，比扫描电镜子55年。年。RaymondcastainRaymondcastaing(1951)g(1951)论述了电子探针的基本概念。他讲述了自己设计并制论述了电子探针的基本概念。他讲述了自己设计并制造的仪器的结构，由他发展并一直沿用至今的定量分析方法的造的仪器的结构，由他发展并一直沿用至今的定量分析方法的基础工作，并展示了首批应用研究工作。电子探针仪中的探针基础工作，并展示了首批应用研究工作。电子探针仪中的探针形成及成像原理是与形成及成像原理是与SEMSEM相似的，其中包括产生一束聚集得很相似的，其中包括产生一束聚集得很细的电子束的电子光学柱体，一个扫描系统，一个或几个电子细的电子束的电子光学柱体，一个扫描系统，一个或几个电子探测器，和包括一个阴极射线管探测器，和包括一个阴极射线管(CRT)(CRT)的显示系统。的显示系统。XX射线显微分析仪射线显微分析仪EMAEMA与与SEMSEM不同的是，前者着重微区成分分析而后者主要用不同的是，前者着重微区成分分析而后者主要用作图像观察。作图像观察。EMAEMA和和SEMSEM中作微区化学成分分析都基于测量中作微区化学成分分析都基于测量电子束激发产生的电子束激发产生的xx射线。这些射线。这些xx射线的标定和测量可以用能射线的标定和测量可以用能谱仪谱仪(EDS)(EDS)或晶体分光谱仪或晶体分光谱仪(CDS)(CDS)，后者有时称作波谱仪，后者有时称作波谱仪(WD(WDS)S)。。虽然，近年来虽然，近年来SEMSEM配上配上EDSEDS系统这种配置的仪器使用日益广系统这种配置的仪器使用日益广泛，但请记住．由于泛，但请记住．由于EMAEMA本身的一些特点，使它在做微区成本身的一些特点，使它在做微区成分分析上的优越性明显地胜过分分析上的优越性明显地胜过SEMSEM。。EMAEMA一般配几道一般配几道CDSCDS，，并有非常稳定的样品台和电子光学系统。这种设计，使它进行并有非常稳定的样品台和电子光学系统。这种设计，使它进行元素定量分析的准确性较高，有利于轻元素的定性和定量分析，元素定量分析的准确性较高，有利于轻元素的定性和定量分析，在痕量元素分析上更显著地优于在痕量元素分析上更显著地优于EDSEDS。。因为因为EMAEMA和和SEMSEM上配置上配置EDSEDS也有一定的优点，所以本章将也有一定的优点，所以本章将详细介绍这两种技术，及它们各自的适用范围。详细介绍这两种技术，及它们各自的适用范围。XX射线显微分析仪射线显微分析仪这种仪器的设计和制造是法国人卡斯坦这种仪器的设计和制造是法国人卡斯坦(R(R．．Castaing)Castaing)在在19119199年最先提出的，可是，利用电子束照射样品表面，探测由此年最先提出的，可是，利用电子束照射样品表面，探测由此而产生出来的特征而产生出来的特征XX射线，从而对样品所含元素进行分析的原射线，从而对样品所含元素进行分析的原理，早在理，早在19131913年莫塞莱就提出来了。之后，随着电子光学和年莫塞莱就提出来了。之后，随着电子光学和xx射线测量技术等的飞快发展，在著名射线测量技术等的飞快发展，在著名XX射线衍射专家纪尼叶射线衍射专家纪尼叶(A(A．．Guinier)Guinier)的指导下，卡斯坦采纳了莫塞菜的理论并作了进一的指导下，卡斯坦采纳了莫塞菜的理论并作了进一步发展，作出了能实际应用的步发展，作出了能实际应用的xx射线显微分析仪。另外，英国射线显微分析仪。另外，英国的考斯莱特和丹康布等人使电于束对样品表面扫描，并利用色的考斯莱特和丹康布等人使电于束对样品表面扫描，并利用色散后的特征散后的特征XX射线强度来调制阴极射线管的亮度，这样构成的...
